荷蘭Xensor Integration XEN-394 快速掃描量熱芯片,Xensor傳感器芯片,熱電偶芯片傳感器,超快掃描量熱儀用芯片傳感器

Xensor Integration XEN-393和XEN-394系列微加工薄膜熱量計傳感器設(shè)計用于測量具有高溫掃描速率的小樣品。XEN-393系列由鋁互連制成，將其限制在比具有金互連的XEN-394系列更低的溫度范圍內(nèi)。

傳感器具有單層或雙層超薄氮化硅膜，其特征在于對環(huán)境的高熱阻和非常小的時間常數(shù)。這使得這些傳感器特別適用于氣體環(huán)境中的測量和快速測量，如快速掃描量熱法。

XEN-394是一系列微加工薄膜熱量計傳感器，設(shè)計用于測量具有高溫掃描速率的小樣品。XEN-394 Gold系列采用金互連，使其溫度比具有鋁互連的XEN-393系列更高。傳感器具有雙超薄氮化硅膜，其特征是對環(huán)境具有高熱阻和非常小的時間常數(shù)。這使得這些傳感器特別適用于氣體環(huán)境中的測量和快速測量，如快速掃描量熱法。

Xensor Integration XEN-394 快速掃描量熱芯片原理：
Xensor Integration XEN-393量熱計芯片由一層薄膜組成，薄膜懸掛在一層厚厚的硅框架中。集成加熱器加熱薄膜的中間：芯片的樣品區(qū)域，熱電堆測量樣品區(qū)域的溫度。通過這種方式，可以對樣品進(jìn)行預(yù)定的溫度分布，從而可以觀察到樣品隨溫度變化的行為。

Xensor Integration XEN-394 快速掃描量熱芯片主要應(yīng)用：

研究熱誘導(dǎo)的物理轉(zhuǎn)變和化學(xué)過程，如聚合物、藥物和爆炸材料的結(jié)晶和重組

Xensor Integration XEN-393規(guī)格特征：

?超高的加熱和冷卻速率，最高可達(dá)100 MK/s

?樣品溫度范圍廣，從-273°C到1000°C

Xensor XEN-39469/XEN-39470? 這是兩個設(shè)計在膜上具有大的圓形樣品區(qū)域的芯片。兩種芯片都具有雙重膜。每個膜都有兩個同心加熱器和兩個n型與p型多晶硅的熱電偶。在XEN-39469中，加熱器內(nèi)的中心被金覆蓋以獲得均勻的溫度，但加熱器沒有被金覆蓋。這使XEN-39469能夠在比XEN-39470（700°C）更高的溫度（1000°C）下運行，其中加熱器也涂有金。樣品溫度可達(dá)到銀點（962°C）。

Xensor XEN-39471具有單個加熱器、熱電偶和雙膜的小型樣品區(qū)域芯片。

XEN-39472XEN-39473這兩種設(shè)備具有雙膜，具有非常小的樣品面積，只有一個加熱器和一個熱電偶。樣品區(qū)域的小尺寸是為了使設(shè)備非常快速。在XEN-39473中，在距離樣品區(qū)域5μm處產(chǎn)生了一個額外的金散熱器，因此冷卻速度甚至比XEN-39472更快。由于這種散熱器，XEN39473的傳輸是XEN-39472的一半高。對于XEN-39473，已經(jīng)獲得了超過100 MK/s的冷卻掃描速率。

XEN-394系列可用于各種外殼。