荷蘭Xensor Integration XEN-3920-P2RW熱導(dǎo)率計(jì),熱導(dǎo)率傳感器元件,Xensor傳感器,位置檢測(cè)

Xensor Integration XEN-3920 熱導(dǎo)率計(jì)測(cè)量周圍氣體的熱導(dǎo)率。它利用氣體導(dǎo)熱系數(shù)不同的原理，可用于測(cè)量組分氣體具有不同導(dǎo)熱系數(shù)的二元混合物或準(zhǔn)二元混合物中的氣體濃度。它還可以用作皮拉尼壓力計(jì)來(lái)測(cè)量真空系統(tǒng)中的壓力。

傳感器芯片由帶有 2 個(gè)氮化硅膜的硅邊緣組成。每個(gè)膜的中心都有一個(gè)加熱器，并有一個(gè)傳感器元件測(cè)量其溫度。該芯片測(cè)量環(huán)境與膜中心之間的熱導(dǎo)率。

標(biāo)準(zhǔn) XEN-3920 包括帶有芯片的 TO-5 接頭、芯片上方的頂部（硅蓋）以降低對(duì)流動(dòng)效應(yīng)的敏感性，以及焊接在 TO-5 外殼上的帶過(guò)濾器的蓋子。芯片旁邊是一個(gè)用于環(huán)境溫度測(cè)量的 Pt100 或 Pt1000。

Xensor Integration XEN-3920-P2RW 熱導(dǎo)率計(jì)測(cè)量原理：
Xensor XEN-3920測(cè)量薄膜中心的熱電堆熱結(jié)和芯片框架上的冷結(jié)之間的熱阻。這是通過(guò)使用加熱器電阻器加熱膜的中心來(lái)實(shí)現(xiàn)的。通過(guò)熱電堆測(cè)量中心的溫度升高。實(shí)際溫度升高取決于膜中心和環(huán)境之間的有效熱阻，這受到環(huán)境氣體熱阻的影響

Xensor Integration XEN-3920-P2RW 熱導(dǎo)率計(jì)主要應(yīng)用：

. 氫氣、氦氣和天然氣測(cè)量

?用氦氣測(cè)試氫氣系統(tǒng)

?包裝和真空系統(tǒng)中的真空測(cè)量

?氣體濃度測(cè)量

Xensor Integration XEN-3920-P2RW 熱導(dǎo)率計(jì)主要特征：

?二元和準(zhǔn)二元混合物中氣體的長(zhǎng)期穩(wěn)定分析

?高靈敏度和分辨率

?工作溫度：-250°C至150°C

?濕度：0至95%RH，非冷凝

?使用Pt100（P2）或Pt1000（P3）元件進(jìn)行溫度測(cè)量

?可忽略的流量靈敏度

Xensor Integration XEN-3920-P2RW 熱導(dǎo)率計(jì)性能

環(huán)境溫度22°C和1 V電源

尺寸

————————————————————

size naked die (mm3) 2.50 x 3.33 x 0.3

Size TO-5 header (mm2) 9 Ф x 6

Length pins (mm) 14

weight on TO-5 (g) 0.72

weight on TO-5 + cap + filter (g) 1.05

輸出

———————————————————————

in vacuum at < 1 mPa (V/W) tbd

in air at 100 kPa (V/W) 42

in air at 10 MPa (V/W) tbd

in helium at 100 kPa (V/W) tbd

in helium at 10 MPa (V/W) tbd

時(shí)間常數(shù)

—————————————————————-

in air (ms) 9

in vacuum (ms) 36

穩(wěn)定性

short term, 1 day (ppm) 1

long term, 1 year (ppm) 300