VacTechniche VacCoat Desktop Sputter Coater-DSR1 桌面濺射鍍膜機(jī)

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Vac Techniche 桌面濺射鍍膜機(jī)能夠在非導(dǎo)電或?qū)щ娦圆畹臉悠坊蚱骷线M(jìn)行貴金屬薄膜濺射鍍膜，這些貴金屬包括金（Au）、鈀（Pd）、鉑（Pt）以及金 / 鈀（Au/Pd）。

使用濺射鍍膜進(jìn)行樣品制備是針對(duì)非導(dǎo)電和低導(dǎo)電樣本或樣品的公認(rèn)方法。DTE 配備了大電流電源和低壓（電阻式）熱蒸發(fā)平臺(tái)，適用于各種熱蒸發(fā)應(yīng)用。

VacTechniche DSR1 的研發(fā)旨在超越掃描電子顯微鏡（SEM）/ 透射電子顯微鏡（TEM）樣品制備的要求。

這款緊湊且易于使用的濺射鍍膜儀，既可以選擇使用現(xiàn)有的真空泵，也可以配備一臺(tái)真空泵。對(duì)于外部抽氣，機(jī)載計(jì)算機(jī)可控制真空泵或抽氣裝置。

臺(tái)式磁控濺射鍍膜儀（DSR1）是一款高效工具，以在全自動(dòng)化系統(tǒng)中提供一致且高度可重復(fù)的結(jié)果而聞名。其符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)和小巧的占地面積使 DSR1 掃描電鏡鍍膜系統(tǒng)易于使用。DSR1 – 170 被設(shè)置為專門為掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備而設(shè)計(jì)的濺射鍍膜儀。DSR1 配備了一個(gè) 2 英寸的磁控陰極和一個(gè) 80W 開關(guān)直流電源，適用于各種研究和薄膜應(yīng)用。此外，它還可以配備水冷陰極，使其適用于長(zhǎng)時(shí)間的沉積過程。該型號(hào)可容納尺寸最大為 4 英寸的基板。

功能：
?兩級(jí)旋片泵選項(xiàng)

?2 英寸濺射頭

?碳纖維頭升級(jí)選項(xiàng)

?碳棒頭升級(jí)選項(xiàng)

?石英晶體厚度監(jiān)測(cè)儀

?觸摸屏控制

?快速數(shù)據(jù)輸入

?人性化軟件

?精確控制鍍膜速率

?時(shí)間和厚度濺射的手動(dòng)控制選項(xiàng)

?手動(dòng)設(shè)置，時(shí)間、厚度和濺射功率

?自動(dòng)定時(shí)和厚度濺射

?標(biāo)配旋轉(zhuǎn)臺(tái)

?符合 CE 標(biāo)準(zhǔn)

應(yīng)用：