VacTechniche VacCoat Desktop Sputter and Carbon Coater DSCR 桌面濺射及碳鍍膜系統

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使用濺射鍍膜進行樣品制備是針對非導電和低導電標本或樣品的公認方法。Vac Techniche DSCR 的開發旨在超越掃描電子顯微鏡(SEM)/ 透射電子顯微鏡(TEM)樣品制備的要求。

DSCR這款緊湊且易于使用的濺射鍍膜儀,既可以選擇使用現有的真空泵,也可以配備一臺真空泵。

 

功能:
?兩級直驅式,流量 4 立方米 / 小時,旋片泵

?外徑 170 毫米 ×140 毫米派熱克斯玻璃圓筒腔室

?尺寸:高 45 厘米 × 寬 50 厘米 × 深 37 厘米

?2 英寸磁控管陰極?極限真空度:低于 50 毫托

?行星式樣品旋轉?熱電偶真空計

?精度為 1 納米的石英晶體厚度監測儀

?電控快門

?自動排氣閥

?保存最近進行的 300 次鍍膜數據

?電源:220V – 240V,50/60HZ – 10A

?80 瓦直流開關電源

?通過 USB 接口將曲線和濺射過程數據傳輸到個人電腦

?運輸重量:42 千克

DSCR 型臺式濺射鍍膜儀是掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備的關鍵組件。它配備旋轉泵,可確保真空度低于 50 毫托,非常適合貴金屬濺射鍍膜和碳纖維蒸發鍍膜。對于氧化性金屬的濺射沉積、場發射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)、掃描電鏡能譜儀(SEM EDX)和透射電子顯微鏡(TEM)應用,我們建議考慮 DST1、DSCT 和 DCT 型號。

技術參數:
?外徑 170 毫米 ×140 毫米的派熱克斯玻璃圓柱腔室。

?尺寸:高 45 厘米 × 寬 50 厘米 × 深 37 厘米。

?運輸重量:42 千克。

?公用設施:220 伏 – 50 赫茲 – 10 安。

?80 瓦直流開關電源。?極限真空度:小于 50 毫托。

?2 英寸磁控管陰極。?電子快門。

?精密計量閥,用于控制真空壓力。

?USB 接口,用于導出和記錄過程數據。

 


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