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使用濺射鍍膜進(jìn)行樣品制備是針對(duì)非導(dǎo)電和低導(dǎo)電標(biāo)本或樣品的公認(rèn)方法。Vac Techniche DSCR 的開發(fā)旨在超越掃描電子顯微鏡（SEM）/ 透射電子顯微鏡（TEM）樣品制備的要求。

DSCR這款緊湊且易于使用的濺射鍍膜儀，既可以選擇使用現(xiàn)有的真空泵，也可以配備一臺(tái)真空泵。

功能：
?兩級(jí)直驅(qū)式，流量 4 立方米 / 小時(shí)，旋片泵

?外徑 170 毫米 ×140 毫米派熱克斯玻璃圓筒腔室

?尺寸：高 45 厘米 × 寬 50 厘米 × 深 37 厘米

?2 英寸磁控管陰極?極限真空度：低于 50 毫托

?行星式樣品旋轉(zhuǎn)?熱電偶真空計(jì)

?精度為 1 納米的石英晶體厚度監(jiān)測(cè)儀

?電控快門

?自動(dòng)排氣閥

?保存最近進(jìn)行的 300 次鍍膜數(shù)據(jù)

?電源：220V – 240V，50/60HZ – 10A

?80 瓦直流開關(guān)電源

?通過(guò) USB 接口將曲線和濺射過(guò)程數(shù)據(jù)傳輸?shù)絺€(gè)人電腦

?運(yùn)輸重量：42 千克

DSCR 型臺(tái)式濺射鍍膜儀是掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備的關(guān)鍵組件。它配備旋轉(zhuǎn)泵，可確保真空度低于 50 毫托，非常適合貴金屬濺射鍍膜和碳纖維蒸發(fā)鍍膜。對(duì)于氧化性金屬的濺射沉積、場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）、掃描電鏡能譜儀（SEM EDX）和透射電子顯微鏡（TEM）應(yīng)用，我們建議考慮 DST1、DSCT 和 DCT 型號(hào)。

技術(shù)參數(shù)：
?外徑 170 毫米 ×140 毫米的派熱克斯玻璃圓柱腔室。

?尺寸：高 45 厘米 × 寬 50 厘米 × 深 37 厘米。

?運(yùn)輸重量：42 千克。

?公用設(shè)施：220 伏 – 50 赫茲 – 10 安。

?80 瓦直流開關(guān)電源。?極限真空度：小于 50 毫托。

?2 英寸磁控管陰極。?電子快門。

?精密計(jì)量閥，用于控制真空壓力。

?USB 接口，用于導(dǎo)出和記錄過(guò)程數(shù)據(jù)。