雙磁控管靶臺式濺射鍍膜機可以在蒸發和濺射沉積之間輕松切換，以制備多層鍍膜。
觸摸屏控制
- DST2-TG 配備了一個 7 英寸彩色觸摸屏面板，使用用戶友好的軟件來控制和調整沉積過程數據。面板窗口也可以通過 Wi-Fi 連接在 PC 上使用。真空和涂層順序信息可以在觸摸屏上以數字數據或曲線的形式觀察，最后 300 次涂層保存在歷史記錄頁面上。
DST2-TGB配件
濺射鍍膜機系統可以配備可選設施，包括：
- 帶有可自動調節的匹配盒的射頻電源，可最大限度地減少射頻濺射過程中的反射功率，
- 等離子清洗劑，用于在薄膜沉積前去除基板表面的有機物
DST2-TGB
手套箱系統
手套箱系統為敏感材料提供受保護的環境，防止與空氣或濕氣接觸以及不必要的相互作用。DST2-TG 帶手套箱的高真空鍍膜系統可在惰性氣體氣氛下的沉積過程之前或之后提供安全、清潔的基板處理，以及高度可控的腔室環境，有助于在高真空條件下實現高純度薄層沉積。
DST2-TGB
臺式磁控濺射鍍膜機
DST2-TG 磁控管臺式濺射鍍膜機是一種高精度半/全自動真空鍍膜系統，配備一個大腔室（直徑 300 毫米）和兩個直徑為 2 英寸的水冷陰極，使其適用于長時間沉積。該系統是用于濺射、碳纖維和金屬蒸發的單一平臺。磁控管臺式濺射鍍膜機可以濺射半導體、電介質和金屬靶材。濺射陰極和熱蒸發舟可以一起安裝或互換安裝，總共有三個沉積源可用。利用碳纖維也可以實現碳沉積。
特征
- 濺射鍍膜機和熱蒸發器的組合，用于手套箱安裝
- 內置渦輪分子泵
- 大腔室：直徑 30 厘米，高。20-25 厘米
- 簡單快速的目標安裝：無需目標支架
- 利用帶背板的目標增強熱傳導
- 旋轉樣品架
- 安裝在手套箱上的KF40饋入件，用于電源（直流、射頻、大電流）、真空泵軟管、水冷和氬氣/反應氣體連接以及電氣連接。
- 通過 MFC 進行氣體注入控制
- 雙精度石英晶體厚度傳感器
- Vac Coat 產品在全球范圍內由公共和產品責任保險承保，以防 Vac Coat 系統造成任何財產損失或人身傷害。
規格
- 在手套箱安裝腔室的惰性氣體氣氛下進行沉積過程之前或之后，安全、清潔地處理基板
- 極限真空度：小于 8×10-6 Torr
- 高度可控的腔室環境和手套箱內的高純度薄層沉積
- 無需目標支架即可輕松快速地安裝目標
- 利用帶有背板的目標改善熱傳導
- 每個陰極的獨立濺射控制速率，以產生細晶粒結構
- 自動安全控制陰極溫度，以保護磁體的使用壽命
- 使用全自動觸摸屏控制快速記錄數據
- 兩個精密質量流量計 （MFC），用于精細控制真空和壓力
- 記錄并繪制涂層參數圖表。
- 通過 USB 端口或通過 Wi-Fi 連接到 PC 傳輸曲線和沉積工藝數據
- 0- 1200 V，0-500 mA 直流電源
- 實用程序：220V-110V，50/60HZ-16/25A。
- 儀器尺寸：550 寬 x 600 深 x 600 高 mm
- 凈重：120kg （泵、機架和儀器箱
自動化
- 直觀的觸摸屏，用于控制涂層過程和快速數據輸入
- 用戶友好的軟件，可通過網絡更新
- 半全自動涂層工藝（可選）
- 真空玻璃室的軟件可控垂直運動
- 手動或自動定時和厚度沉積
- 通過 Wi-Fi 連接從 PC 控制沉積過程
- 存儲用于可重復沉積的涂層配方
- 多層薄膜的靶材選擇
- 電子百葉窗
- 自動陰極選擇
選件和附件
- 石英晶體傳感器
- 備用玻璃室
- 濺射靶材
- 密封墊片
