英國(guó)VacTechniche,DSCR-臺(tái)式濺射和碳鍍膜機(jī)

使用濺射涂層進(jìn)行樣品制備是公認(rèn)的非導(dǎo)電和低導(dǎo)電性樣品或樣品的方法。

Vac Techniche DSCR 的開(kāi)發(fā)超越了 SEM/TEM 樣品制備的要求。 緊湊且易于使用的濺射鍍膜機(jī)，可以選擇使用現(xiàn)有泵或隨附泵。

對(duì)于外部泵送，機(jī)載計(jì)算機(jī)控制泵或泵送設(shè)備。
對(duì)于需要渦輪分子泵的應(yīng)用，DSCT 具有一體式渦輪分子真空泵，可選擇標(biāo)準(zhǔn)或更大的真空容器，以適應(yīng)大多數(shù)樣品和樣品尺寸。

Vac Techniche?臺(tái)式濺射鍍膜機(jī)可在非導(dǎo)電或?qū)щ娦圆畹臉悠坊蛟O(shè)備上對(duì)貴金屬進(jìn)行貴金屬的薄膜濺射鍍膜：金 （Au）、鈀 （Pd）、鉑 （Pt） 和金/鈀 （Au/Pd）。
機(jī)載計(jì)算機(jī)集成使臺(tái)式濺射鍍膜機(jī)成為掃描電子顯微鏡 （SEM） 和透射電子顯微鏡分析 （TEM） 的理想實(shí)驗(yàn)室和研究工具。
我們的 DSCR 設(shè)計(jì)的優(yōu)點(diǎn)之一是快速抽空，使其成為除研究?jī)x器外的生產(chǎn)工具，適用于光學(xué)鍍膜等應(yīng)用。

DSCR 薄膜

DSCR?薄膜通過(guò)精細(xì)控制進(jìn)行沉積，在自動(dòng)模式下使用時(shí)產(chǎn)生可重復(fù)的結(jié)果。
碳涂層附件

觸摸屏控制

DSCR-臺(tái)式 SEM/TEM 濺射和碳鍍膜機(jī)，配備 7 英寸彩色觸摸屏和全自動(dòng)控制和數(shù)據(jù)輸入，即使是沒(méi)有經(jīng)驗(yàn)的用戶(hù)也可以作系統(tǒng)。

真空、電流和沉積信息以數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)或曲線的形式顯示在觸摸屏上。系統(tǒng)還將最近 300 種涂層的信息保存在歷史頁(yè)面中。

樣品架

DSCR 可配備各種樣品臺(tái)配置，以滿足每個(gè)用戶(hù)的特定需求。標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)，高度和角度可調(diào)，并且可以輕松更換以適應(yīng)不同類(lèi)型的樣品。其他樣品臺(tái)選項(xiàng)包括真空兼容樣品臺(tái)、加熱樣品臺(tái)和帶有多個(gè)樣品架的樣品臺(tái)。

碳素涂層頭

碳素涂層頭

DSCR 具有專(zhuān)為碳涂層目的而設(shè)計(jì)的可互換頭，能夠加載兩根直徑為 0.8 mm 的碳纖維。這樣就可以在需要時(shí)應(yīng)用更厚的碳膜。

DSCR?設(shè)施

DSCR?具有容納碳涂層附件的功能，非常適合 SEM/TEM 制備。

DSCR?是一種濺射鍍膜機(jī)，在一臺(tái)緊湊的儀器中帶有碳鍍膜機(jī)附件，是理想的選擇，尤其是在實(shí)驗(yàn)室空間狹小的情況下。

特征

  • 兩級(jí)，直接驅(qū)動(dòng) 4m3/h，?旋片泵
  • 170 mm 外徑 x 140 mm Pyrex 氣瓶室
  • 尺寸：45 厘米 x 50 厘米 x 37 厘米 深
  • 2 英寸磁控管陰極
  • 極限真空度：小于 50 毫托
  • 行星樣品旋轉(zhuǎn)
  • 熱電偶真空計(jì)
  • 精度為 1nm 的石英晶體厚度監(jiān)測(cè)器
  • 電動(dòng)控制百葉窗
  • 自動(dòng)排氣閥
  • 保存最后進(jìn)行的 300 次涂層
  • 實(shí)用程序：220V-240V，50/60HZ-10A
  • 80 W 直流開(kāi)關(guān)電源
  • 通過(guò) USB 端口將曲線和濺射工藝數(shù)據(jù)傳輸?shù)?PC
  • 運(yùn)輸重量： 42Kg

應(yīng)用

碳素涂層頭-02

臺(tái)式濺射鍍膜機(jī) DSCR 型是掃描電子顯微鏡 （SEM） 樣品制備的重要組成部分。它采用旋轉(zhuǎn)泵，確保真空度低于 50 mTorr，非常適合貴金屬濺射鍍膜和碳纖維蒸發(fā)鍍膜。對(duì)于氧化性金屬的濺射沉積、場(chǎng)發(fā)射 SEM （FE-SEM）、SEM EDX 和 TEM 應(yīng)用，我們建議探索 DST1、DSCT 和 DCT 模型。

規(guī)格

  • 外徑 170 毫米 x 140 毫米 Pyrex 氣缸室。
  • 尺寸：45 厘米 x 50 厘米 x 37 厘米 深。
  • 運(yùn)輸重量： 42Kg.
  • 實(shí)用程序：220V-50Hz – 10A。
  • 80 瓦直流開(kāi)關(guān)電源。
  • 極限真空：小于 50 毫托。
  • 2 英寸磁控管陰極。
  • 電子快門(mén)。
  • 精密計(jì)量閥，以控制真空壓力。
  • USB 端口，用于導(dǎo)出和記錄過(guò)程數(shù)據(jù)。

選項(xiàng)與附件

臺(tái)式濺射和碳鍍膜機(jī)具有以下選項(xiàng)和附件：

  • 碳棒蒸發(fā)頭
  • 碳棒大電流電源
  • 石英晶體傳感器
  • 行星樣品旋轉(zhuǎn)
  • 備用玻璃真空室
  • 濺射靶材
  • 碳纖維
  • 密封墊片

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