英國VacTechniche,DTT-Turbo 三重?zé)嵴舭l(fā)

Vac Techniche 三重?zé)嵩醋烂?a href="http://www.ydzhly.com/vactechniche/tag/%e6%b6%82%e5%b8%83/" title="View all posts in 涂布" target="_blank">涂布機(jī)為各種形式的源材料（包括線、繩、顆粒和粉末）提供了一個(gè)非常通用的熱蒸發(fā)系統(tǒng)，與船/籃和線圈源支架兼容。

觸摸屏控制

DTT-Turbo 三重?zé)嵴舭l(fā)儀配備 7 英寸彩色觸摸屏和全自動(dòng)控制和數(shù)據(jù)輸入，即使是沒有經(jīng)驗(yàn)的用戶也可以作系統(tǒng)。

真空、電流和沉積信息以數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)或曲線的形式顯示在觸摸屏上。系統(tǒng)還將最近 300 種涂層的信息保存在歷史頁面中。

帶蒸發(fā)源（舟/籃/盤管）選擇系統(tǒng)的三源蒸發(fā)器或臺(tái)式熱蒸發(fā)器是多層或合金沉積的理想選擇。

90 L/s?渦輪分子泵直接安裝在真空包絡(luò)底板上，并由 6 m3/h 兩級(jí)旋轉(zhuǎn)泵提供支持，該泵可引入清潔真空，而不會(huì)像普通擴(kuò)散泵那樣受到油污染

熱蒸發(fā)
舟/籃/盤管

臺(tái)式熱蒸發(fā)器可配備三個(gè)獨(dú)立的熱阻熱蒸發(fā)源。蒸發(fā)源支架的良好設(shè)計(jì)不會(huì)造成源材料相互污染。源架的長(zhǎng)度可在 5cm~9cm 范圍內(nèi)調(diào)整。

特征

  • 多層熱涂層
  • 大尺寸腔室
  • 高真空渦輪分子泵 300 l/s
  • 隔膜前級(jí)泵
  • 全系列真空計(jì)
  • 用于多層薄膜沉積的蒸發(fā)源（舟/籃/線圈）選擇
  • Co – 蒸發(fā)形成合金膜
  • 用于實(shí)時(shí)厚度測(cè)量的石英晶體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)（精度為 1 nm）
  • 手動(dòng)模式、電源、時(shí)間控制
  • 自動(dòng)定時(shí)和厚度沉積
  • 易于使用的觸摸屏控制面板
  • 快速數(shù)據(jù)輸入
  • 用戶友好
  • 可通過網(wǎng)絡(luò)更新的軟件
  • 配備電子快門
  • 配備旋轉(zhuǎn)樣品架
  • 500 °C 輻照基板加熱器
  • 兩年保修

規(guī)格

  • 多船、籃子和線圈安裝
  • 極限真空度：小于 2×10-6托
  • 電路板處理器記錄和繪圖涂層參數(shù)圖
  • 用于導(dǎo)出沉積過程數(shù)據(jù)的 USB 端口
  • 自動(dòng)控制：功率和涂層不受壓力的影響
  • 大電流電氣饋通
  • 直流電源，0-100amp 大電流，
  • 短路保護(hù) /
  • 實(shí)用程序：220V- 50HZ- 16A
  • 尺寸：60 厘米高 × 65 厘米寬 × 50 厘米深
  • 運(yùn)輸重量： ~ 60 kg

?應(yīng)用

  • 金屬和介電薄膜
  • 薄膜涂層
  • 光學(xué)鍍膜
  • 納米與微電子
  • 醫(yī)療零部件
  • 磁性器件
  • 薄膜多層器件

選件和附件

DTT 具有流動(dòng)選項(xiàng)和附件：

  • 大電流電源
  • 石英晶體
  • 備用玻璃
  • 蒸發(fā)源（舟/籃/盤管）
  • 熱源材料
  • 質(zhì)量流量控制器

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