DTE 是一種臺式熱蒸發器系統，用于在基板上沉積薄層材料，用于研究和電子顯微鏡研究。DTE 配置為適用于樣品蒸發實驗的材料蒸發器。這種低預算、小腔室和高真空系統非常適合貴金屬和氧化性金屬的短時間沉積。

觸摸屏控制

DTE 配備了一個 7 英寸彩色觸摸屏面板，使用用戶友好的軟件來控制沉積過程數據。真空和涂層順序信息可以在觸摸屏上以數字數據或曲線的形式觀察，最后 300 次涂層保存在歷史記錄頁面上。

樣品架

DTE 沉積系統提供向上和向下金屬蒸發配置的多功能性。

對于向上沉積，將材料加載到船源中，并將樣品固定在腔室的 S 形夾上，以便于取用。

在向下沉積的情況下，將少量所需材料裝入籃中，并可選擇使用底板上的旋轉樣品架。

DTE作要求

DTE 配備了大電流電源和低壓（電阻式）熱蒸發平臺，適用于各種熱蒸發應用。該系統允許將各種材料受控地熱蒸發到基材上。不同類型的熱蒸發源（舟、籃和盤管）可以安裝在單個熱源支架上。

特征

• 物料蒸發半自動控制
• 配備單獨的直流大電流電源（最大 12V，100A）
• 直徑 170 mm 的硼硅酸鹽-SST 真空室
• 內置渦輪分子泵的高真空度 （Leybold 90 l/s）
• 兩級旋轉（可選隔膜或渦旋）前級泵
• 用于實時厚度測量的石英晶體監測系統（精度為 1 nm）
• 電子快門
• 兩個大電流電饋通，用于熱源插入
• 可移動的熱源支架，可向上或向下沉積配置
• 自動排氣閥
• 全系列真空計
• 腔室導線上的 S 形夾樣品架
• 底板上的 2 英寸旋轉樣品架（可選）
• 樣品旋轉、高度和傾斜度可調（用于可選的 2 英寸樣品架）
• 兩年保修

應用

• 金屬薄膜
• 納米與微電子
• 太陽能電池應用
• 薄膜傳感器
• 用于?SEM?和?FE-SEM 樣品制備的細顆粒結構沉積
• 用于 SEM 樣品制備的閃蒸模式下的碳纖維蒸發

規格

• 極限真空度：小于 4×10^-6托
• 低持續時間沉積工藝
• 記錄和繪制觸摸屏上顯示的參數
• 通過 USB 端口將曲線和沉積工藝數據傳輸到 PC
• 0-12 V、0-100 A 直流大電流電源
• 實用程序：220V-110V，50/60HZ-6/8A
• 儀器尺寸：金屬立方體 – H47 x D37 × W46 cm
• 凈重：30 kg（不含前級泵）

選件和附件

DTE 具有以下選件和附件：

• 石英晶體傳感器
• 備用玻璃室
• 密封墊片
• 船只和籃子

清潔真空

• 真空室的外徑為 170 mm，高度為 140 mm。
• DTE 配有一個內部安裝的 90 L/s 渦輪分子泵，由 6m 支撐³/h 兩級旋片泵（可選）。