Vac Techniche 臺式濺射鍍膜機可在非導電或導電性差的樣品或設備上對貴金屬進行貴金屬的薄膜濺射鍍膜：金 （Au）、鈀 （Pd）、鉑 （Pt） 和金/鈀 （Au/Pd）。
使用濺射涂層進行樣品制備是公認的非導電性和低導電性樣品或樣品的方法。
DTE 配備了大電流電源和低壓（電阻式）熱蒸發平臺，適用于各種熱蒸發應用。
臺式磁控濺射鍍膜機 （DSR1） 是一種高效的工具，以在全自動系統中提供一致且高度可重復的結果而聞名。DSR1 SEM 鍍膜系統采用符合人體工程學的設計和較小的占地面積，易于使用。
DSR1 配備 2 英寸磁控管陰極和 80W 開關直流電源，適用于各種研究和薄膜應用。此外，它可以配備水冷陰極，使其適用于擴展沉積工藝。該型號可容納最大 4 英寸的基板。
觸摸屏控制
DSR1 臺式濺射鍍膜機配備 7 英寸彩色觸摸屏和全自動控制軟件。它以數字或曲線形式顯示真空和涂層數據。最近 300 種涂層的歷史記錄被存儲起來，并可以通過 USB 端口傳輸到 PC。
樣品架
DSR1 提供各種樣品臺配置，以滿足不同的用戶需求。標準樣品臺可旋轉，高度和角度可調，易于更換。此外，還可以選擇旋轉行星樣品臺，這是在多孔樣品上實現均勻涂層的理想選擇。
特征
- 兩級旋轉泵選項
- 2“ 濺射頭
- 碳纖維頭升級選項
- 碳桿頭升級選項
- 石英晶體厚度監測器。
- 觸摸屏控制。
- 快速數據輸入。
- 用戶友好的軟件。
- 精確控制涂布速率。
- Time 和 Thickness 濺射的 Manual Control 選項。
- 手動設置、時間、厚度和濺射功率。
- 自動定時和厚度濺射。
- 旋轉平臺為標準配置。
- 兩年保修
- CE 合規性
應用
自動化
- 直觀的觸摸屏，用于控制涂層過程和快速數據輸入
- 用戶友好的軟件，可通過網絡更新
- 控制涂層速率以獲得更精細的晶粒結構
- 半全自動涂布工藝（可選）
- 自動模式下可重復和可編程的濺射工藝
- 手動或自動定時和厚度沉積
- 能夠記錄和繪制涂層參數圖表
- 存儲用于可重復沉積的涂層配方
規格
- 能夠沉積貴金屬
- 能夠執行 GLAD 濺射
- 外徑 170 mm x 高度 140 mm Pyrex 氣瓶室
- 尺寸：45 厘米高 x 46 厘米寬 x 37 厘米深
- 高精度厚度監測器
- 極限真空度：小于 40 mTorr
- 用于氬氣的電子泄漏閥
- 陰極的自動溫度控制可延長磁體使用壽命
- 通過全自動觸摸屏面板高效輸入數據
- 記錄和繪制涂層參數
- 內置 USB 端口，用于將曲線和沉積數據傳輸到 PC
- 電源：220V-110V，50/60 Hz，1.5 kW
- 80 W 直流開關電源
- 裝運重量（包括真空泵）：42 公斤
選件和附件
DSR1 具有流動選件和附件：
- 碳棒蒸發升級選項
- 碳纖維蒸發升級
- 石英晶體
- 密封墊片
- 等離子清洗機
- 行星樣品旋轉
- 備用玻璃
- 濺射靶材
