英國(guó)VacTechniche,DST2-TGB 手套箱濺射和熱蒸發(fā)

DST2-TG 是雙目標(biāo)渦輪泵浦濺射鍍膜機(jī)，帶熱蒸發(fā)器，適用于手套箱，是一種多真空鍍膜機(jī)系統(tǒng)，將熱蒸發(fā)器和濺射鍍膜機(jī)結(jié)合在一個(gè)緊湊的桌面系統(tǒng)中，通過(guò) Wi-Fi 連接進(jìn)行遠(yuǎn)程系統(tǒng)控制，可通過(guò)觸摸屏和 PC 進(jìn)行控制。高真空系統(tǒng)適用于各種材料的沉積。

雙磁控管靶臺(tái)式濺射鍍膜機(jī)可以在蒸發(fā)和濺射沉積之間輕松切換，以制備多層鍍膜。

觸摸屏控制

  • DST2-TG 配備了一個(gè) 7 英寸彩色觸摸屏面板，使用用戶(hù)友好的軟件來(lái)控制和調(diào)整沉積過(guò)程數(shù)據(jù)。面板窗口也可以通過(guò) Wi-Fi 連接在 PC 上使用。真空和涂層順序信息可以在觸摸屏上以數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)或曲線的形式觀察，最后 300 次涂層保存在歷史記錄頁(yè)面上。

DST2-TGB配件

濺射鍍膜機(jī)系統(tǒng)可以配備可選設(shè)施，包括：

  • 帶有可自動(dòng)調(diào)節(jié)的匹配盒的射頻電源，可最大限度地減少射頻濺射過(guò)程中的反射功率，
  • 等離子清洗劑，用于在薄膜沉積前去除基板表面的有機(jī)物

DST2-TGB
手套箱系統(tǒng)

手套箱系統(tǒng)為敏感材料提供受保護(hù)的環(huán)境，防止與空氣或濕氣接觸以及不必要的相互作用。DST2-TG 帶手套箱的高真空鍍膜系統(tǒng)可在惰性氣體氣氛下的沉積過(guò)程之前或之后提供安全、清潔的基板處理，以及高度可控的腔室環(huán)境，有助于在高真空條件下實(shí)現(xiàn)高純度薄層沉積。

DST2-TGB
臺(tái)式磁控濺射鍍膜機(jī)

DST2-TG 磁控管臺(tái)式濺射鍍膜機(jī)是一種高精度半/全自動(dòng)真空鍍膜系統(tǒng)，配備一個(gè)大腔室（直徑 300 毫米）和兩個(gè)直徑為 2 英寸的水冷陰極，使其適用于長(zhǎng)時(shí)間沉積。該系統(tǒng)是用于濺射、碳纖維和金屬蒸發(fā)的單一平臺(tái)。磁控管臺(tái)式濺射鍍膜機(jī)可以濺射半導(dǎo)體、電介質(zhì)和金屬靶材。濺射陰極和熱蒸發(fā)舟可以一起安裝或互換安裝，總共有三個(gè)沉積源可用。利用碳纖維也可以實(shí)現(xiàn)碳沉積。

射頻等離子技術(shù)應(yīng)用

特征

  • 濺射鍍膜機(jī)和熱蒸發(fā)器的組合，用于手套箱安裝
  • 內(nèi)置渦輪分子泵
  • 大腔室：直徑 30 厘米，高。20-25 厘米
  • 簡(jiǎn)單快速的目標(biāo)安裝：無(wú)需目標(biāo)支架
  • 利用帶背板的目標(biāo)增強(qiáng)熱傳導(dǎo)
  • 旋轉(zhuǎn)樣品架
  • 安裝在手套箱上的KF40饋入件，用于電源（直流、射頻、大電流）、真空泵軟管、水冷和氬氣/反應(yīng)氣體連接以及電氣連接。
  • 通過(guò) MFC 進(jìn)行氣體注入控制
  • 雙精度石英晶體厚度傳感器
  • Vac Coat 產(chǎn)品在全球范圍內(nèi)由公共和產(chǎn)品責(zé)任保險(xiǎn)承保，以防 Vac Coat 系統(tǒng)造成任何財(cái)產(chǎn)損失或人身傷害。

規(guī)格

  • 在手套箱安裝腔室的惰性氣體氣氛下進(jìn)行沉積過(guò)程之前或之后，安全、清潔地處理基板
  • 極限真空度：小于 8×10-6 Torr
  • 高度可控的腔室環(huán)境和手套箱內(nèi)的高純度薄層沉積
  • 無(wú)需目標(biāo)支架即可輕松快速地安裝目標(biāo)
  • 利用帶有背板的目標(biāo)改善熱傳導(dǎo)
  • 每個(gè)陰極的獨(dú)立濺射控制速率，以產(chǎn)生細(xì)晶粒結(jié)構(gòu)
  • 自動(dòng)安全控制陰極溫度，以保護(hù)磁體的使用壽命
  • 使用全自動(dòng)觸摸屏控制快速記錄數(shù)據(jù)
  • 兩個(gè)精密質(zhì)量流量計(jì) （MFC），用于精細(xì)控制真空和壓力
  • 記錄并繪制涂層參數(shù)圖表。
  • 通過(guò) USB 端口或通過(guò) Wi-Fi 連接到 PC 傳輸曲線和沉積工藝數(shù)據(jù)
  • 0- 1200 V，0-500 mA 直流電源
  • 實(shí)用程序：220V-110V，50/60HZ-16/25A。
  • 儀器尺寸：550 寬 x 600 深 x 600 高 mm
  • 凈重：120kg （泵、機(jī)架和儀器箱

自動(dòng)化

  • 直觀的觸摸屏，用于控制涂層過(guò)程和快速數(shù)據(jù)輸入
  • 用戶(hù)友好的軟件，可通過(guò)網(wǎng)絡(luò)更新
  • 半全自動(dòng)涂層工藝（可選）
  • 真空玻璃室的軟件可控垂直運(yùn)動(dòng)
  • 手動(dòng)或自動(dòng)定時(shí)和厚度沉積
  • 通過(guò) Wi-Fi 連接從 PC 控制沉積過(guò)程
  • 存儲(chǔ)用于可重復(fù)沉積的涂層配方
  • 多層薄膜的靶材選擇
  • 電子百葉窗
  • 自動(dòng)陰極選擇

選件和附件

  • 石英晶體傳感器
  • 備用玻璃室
  • 濺射靶材
  • 密封墊片

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