Vac Techniche DSCT 的開發(fā)超越了 SEM/TEM 樣品制備的要求。
緊湊且易于使用的濺射鍍膜機，帶有板載 Turbomolecular 泵浦。
使用隨附的前級真空泵或您自己的前級真空泵，所有這些都由處理器控制器控制。
使用濺射鍍膜進行樣品制備是公認的非導電性和低導電性樣品或樣品的方法，該系統(tǒng)也適用于光學鍍膜。
Vac Techniche 臺式濺射鍍膜機可在非導電或導電性差的樣品或設備上對貴金屬進行貴金屬的薄膜濺射鍍膜：金 （Au）、鈀 （Pd）、鉑 （Pt） 和金/鈀 （Au/Pd）。
機載處理器集成使臺式濺射鍍膜機成為掃描電子顯微鏡 （SEM） 和透射電子顯微鏡分析 （TEM） 的理想實驗室和研究工具。
我們的 DSCT 設計的優(yōu)點之一是抽空時間短，使其成為除研究儀器外，還可用于光學鍍膜等應用的生產工具。
在自動模式下使用時，通過精細的氣體流量控制沉積薄膜，產生可重復的結果。
觸摸屏控制
DSCT-渦輪泵浦濺射和碳鍍膜機配備 7 英寸彩色觸摸屏和全自動控制和數據輸入，即使是沒有經驗的用戶也可以作系統(tǒng)。
真空、電流和沉積信息以數字數據或曲線的形式顯示在觸摸屏上。系統(tǒng)還將最近 300 種涂層的信息保存在歷史頁面中。
樣品架
DSCT-Turbo 泵浦濺射和碳鍍膜機提供多種樣品臺配置，以滿足各種用戶需求。樣品臺的設計易于旋轉、高度可調和快速互換。為了對多孔樣品進行均勻鍍膜，您可以選擇旋轉行星樣品臺作為附加功能。
DSCT 蒸發(fā)
脈沖碳纖維
DSCT 的緊湊型腔室配備了脈沖碳纖維蒸發(fā)裝置，通過使用短脈沖增強了對沉積的控制。這種創(chuàng)新方法不僅確保了更精確的沉積，而且大大減少了通常與傳統(tǒng)碳沉積方法相關的碎屑的產生。
碳涂層
附件
- DSCT?具有容納碳涂層附件的設施，非常適合?SEM/TEM?制備，使用單獨的附件使碳涂層遠離濺射頭，避免和交叉污染問題。
- 碳也可根據要求提供桿蒸發(fā)。
特征
- 2“ 濺射頭
- 碳纖維頭
- 碳桿頭升級選項
- 石英晶體厚度監(jiān)測器。
- 觸摸屏控制。
- 快速數據輸入。
- 用戶友好的軟件。
- 精確控制涂布速率。
- Time 和 Thickness 濺射的 Manual Control 選項。
- 手動設置、時間、厚度和濺射功率。
- 自動定時和厚度濺射。
- 兩年保修
- CE 合規(guī)性
規(guī)格
- 控制面板：7 英寸觸摸屏、編程、作、參數插圖
- 單直磁控管陰極：適用于 2“ 目標，
- 碳纖維頭易于更換，便于碳纖維蒸發(fā)。
- 用于碳蒸發(fā)的大電流脈沖電源 （24V-100A）
- 薄膜厚度監(jiān)視器：編程能力和 1nm 進動熱電偶真空計：顯示 0.001-1 mbar
- 真空室：Pyrex 圓筒室 300 mm 外徑 x h200 mm，厚 7mm
- 直流電源 0-100 mA 用于濺射
- 樣品架：電動樣品架
- 電子泄漏閥：1 個 MFC：0-100 sccm，用于氬氣和反應氣體。
- 快門：電子快門
- 主體：金屬立方體-30*50*50 cm
- 渦輪分子泵：90 l/s （Leybold）
- 前級泵：4m/h 雙級旋轉泵
- 真空計：皮拉尼和潘寧的組合 （Leybold）
- 排氣閥：1/4“ 電動
- 包裝：輪式箱
- 除泵外，所有部件均提供 24 個月保修
- Leybold 萊寶零件的 12 個月保修
應用
選項和附件
DSCT 具有流動選項和附件：
- 碳涂層頭，帶 100A 電源，用于碳棒蒸發(fā)。非全自動
- 石英晶體
- 行星樣品旋轉
- 備用玻璃
- 金靶材 （Au），直徑 2 英寸，厚度 0.15
- 銀靶 （Ag），直徑 2 英寸，厚度 0.3
- 鉑靶材 （Pt），直徑 2 英寸，厚度 0.15
- 升級為干式泵系統(tǒng)，Leybold 隔膜 1.4 m^3/h 真空前級泵
- 濺射靶材
- 碳纖維
