使用濺射涂層進行樣品制備是公認的非導(dǎo)電和低導(dǎo)電性樣品或樣品的方法。
Vac Techniche DSCR 的開發(fā)超越了 SEM/TEM 樣品制備的要求。 緊湊且易于使用的濺射鍍膜機，可以選擇使用現(xiàn)有泵或隨附泵。
對于外部泵送，機載計算機控制泵或泵送設(shè)備。
對于需要渦輪分子泵的應(yīng)用，DSCT 具有一體式渦輪分子真空泵，可選擇標準或更大的真空容器，以適應(yīng)大多數(shù)樣品和樣品尺寸。
Vac Techniche?臺式濺射鍍膜機可在非導(dǎo)電或?qū)щ娦圆畹臉悠坊蛟O(shè)備上對貴金屬進行貴金屬的薄膜濺射鍍膜：金 （Au）、鈀 （Pd）、鉑 （Pt） 和金/鈀 （Au/Pd）。
機載計算機集成使臺式濺射鍍膜機成為掃描電子顯微鏡 （SEM） 和透射電子顯微鏡分析 （TEM） 的理想實驗室和研究工具。
我們的 DSCR 設(shè)計的優(yōu)點之一是快速抽空，使其成為除研究儀器外的生產(chǎn)工具，適用于光學鍍膜等應(yīng)用。
DSCR 薄膜
DSCR?薄膜通過精細控制進行沉積，在自動模式下使用時產(chǎn)生可重復(fù)的結(jié)果。
碳涂層附件
觸摸屏控制
DSCR-臺式 SEM/TEM 濺射和碳鍍膜機，配備 7 英寸彩色觸摸屏和全自動控制和數(shù)據(jù)輸入，即使是沒有經(jīng)驗的用戶也可以作系統(tǒng)。
真空、電流和沉積信息以數(shù)字數(shù)據(jù)或曲線的形式顯示在觸摸屏上。系統(tǒng)還將最近 300 種涂層的信息保存在歷史頁面中。
樣品架
DSCR 可配備各種樣品臺配置，以滿足每個用戶的特定需求。標準樣品臺可旋轉(zhuǎn)，高度和角度可調(diào)，并且可以輕松更換以適應(yīng)不同類型的樣品。其他樣品臺選項包括真空兼容樣品臺、加熱樣品臺和帶有多個樣品架的樣品臺。
碳素涂層頭
DSCR 具有專為碳涂層目的而設(shè)計的可互換頭，能夠加載兩根直徑為 0.8 mm 的碳纖維。這樣就可以在需要時應(yīng)用更厚的碳膜。
DSCR?設(shè)施
DSCR?具有容納碳涂層附件的功能，非常適合 SEM/TEM 制備。
DSCR?是一種濺射鍍膜機，在一臺緊湊的儀器中帶有碳鍍膜機附件，是理想的選擇，尤其是在實驗室空間狹小的情況下。
特征
- 兩級，直接驅(qū)動 4m3/h，?旋片泵
- 170 mm 外徑 x 140 mm Pyrex 氣瓶室
- 尺寸：45 厘米 x 50 厘米 x 37 厘米 深
- 2 英寸磁控管陰極
- 極限真空度：小于 50 毫托
- 行星樣品旋轉(zhuǎn)
- 熱電偶真空計
- 精度為 1nm 的石英晶體厚度監(jiān)測器
- 電動控制百葉窗
- 自動排氣閥
- 保存最后進行的 300 次涂層
- 實用程序：220V-240V，50/60HZ-10A
- 80 W 直流開關(guān)電源
- 通過 USB 端口將曲線和濺射工藝數(shù)據(jù)傳輸?shù)?PC
- 運輸重量： 42Kg
應(yīng)用
臺式濺射鍍膜機 DSCR 型是掃描電子顯微鏡 （SEM） 樣品制備的重要組成部分。它采用旋轉(zhuǎn)泵，確保真空度低于 50 mTorr，非常適合貴金屬濺射鍍膜和碳纖維蒸發(fā)鍍膜。對于氧化性金屬的濺射沉積、場發(fā)射 SEM （FE-SEM）、SEM EDX 和 TEM 應(yīng)用，我們建議探索 DST1、DSCT 和 DCT 模型。
規(guī)格
- 外徑 170 毫米 x 140 毫米 Pyrex 氣缸室。
- 尺寸：45 厘米 x 50 厘米 x 37 厘米 深。
- 運輸重量： 42Kg.
- 實用程序：220V-50Hz – 10A。
- 80 瓦直流開關(guān)電源。
- 極限真空：小于 50 毫托。
- 2 英寸磁控管陰極。
- 電子快門。
- 精密計量閥，以控制真空壓力。
- USB 端口，用于導(dǎo)出和記錄過程數(shù)據(jù)。
選項與附件
臺式濺射和碳鍍膜機具有以下選項和附件：
- 碳棒蒸發(fā)頭
- 碳棒大電流電源
- 石英晶體傳感器
- 行星樣品旋轉(zhuǎn)
- 備用玻璃真空室
- 濺射靶材
- 碳纖維
- 密封墊片
