Vac Techniche 三重熱源桌面涂布機為各種形式的源材料（包括線、繩、顆粒和粉末）提供了一個非常通用的熱蒸發系統，與船/籃和線圈源支架兼容。
觸摸屏控制
DTT-Turbo 三重熱蒸發儀配備 7 英寸彩色觸摸屏和全自動控制和數據輸入，即使是沒有經驗的用戶也可以作系統。
三源蒸發
帶蒸發源（舟/籃/盤管）選擇系統的三源蒸發器或臺式熱蒸發器是多層或合金沉積的理想選擇。
DTT 蒸發渦輪
分子泵
90 L/s?渦輪分子泵直接安裝在真空包絡底板上，并由 6 m3/h 兩級旋轉泵提供支持，該泵可引入清潔真空，而不會像普通擴散泵那樣受到油污染
熱蒸發
舟/籃/盤管
臺式熱蒸發器可配備三個獨立的熱阻熱蒸發源。蒸發源支架的良好設計不會造成源材料相互污染。源架的長度可在 5cm~9cm 范圍內調整。
特征
- 多層熱涂層
- 大尺寸腔室
- 高真空渦輪分子泵 300 l/s
- 隔膜前級泵
- 全系列真空計
- 用于多層薄膜沉積的蒸發源（舟/籃/線圈）選擇
- Co – 蒸發形成合金膜
- 用于實時厚度測量的石英晶體監測系統（精度為 1 nm）
- 手動模式、電源、時間控制
- 自動定時和厚度沉積
- 易于使用的觸摸屏控制面板
- 快速數據輸入
- 用戶友好
- 可通過網絡更新的軟件
- 配備電子快門
- 配備旋轉樣品架
- 500 °C 輻照基板加熱器
- 兩年保修
規格
- 多船、籃子和線圈安裝
- 極限真空度：小于 2×10-6托
- 電路板處理器記錄和繪圖涂層參數圖
- 用于導出沉積過程數據的 USB 端口
- 自動控制：功率和涂層不受壓力的影響
- 大電流電氣饋通
- 直流電源，0-100amp 大電流，
- 短路保護 /
- 實用程序：220V- 50HZ- 16A
- 尺寸：60 厘米高 × 65 厘米寬 × 50 厘米深
- 運輸重量： ~ 60 kg
?應用
- 金屬和介電薄膜
- 薄膜涂層
- 光學鍍膜
- 納米與微電子
- 醫療零部件
- 磁性器件
- 薄膜多層器件
選件和附件
DTT 具有流動選項和附件：
- 大電流電源
- 石英晶體
- 備用玻璃
- 蒸發源（舟/籃/盤管）
- 熱源材料
- 質量流量控制器
