Vac Techniche Ltd 制造的用于濺射和等離子體發生器的射頻發生器是用于工業和實驗室沉積、等離子體生成甚至介電加熱和熔化的可靠設備。該器件也是半導體制造系統中最重要的組件之一，用于生產現代計算機和電子設備中的集成電路 （IC） 和芯片。
Vac Techniche 射頻發生器及其阻抗匹配網絡構成了一個完整的射頻等離子體發生組件。射頻發生器根據客戶設計和制造 27.12 MHz、13.56 MHz、2 MHz 或其他頻段。
該頻率是工業、科學和醫療 （ISM） 無線電頻段中最常用的頻率之一。該頻段用于一般用途，因此允許進行高功率活動，而不會對周圍的電信系統造成任何干擾。該頻段使用功率從幾毫瓦到幾百千瓦不等的發電機。
特性和功能
- 反射功率限制器
- 風冷（DC 到 RF 轉換效率大于 70%）
- 帶觸摸屏的圖形控制、顯示和調節系統
- 各種保護類型（反射功率、過熱、過流和過壓），能夠自動限制發射功率
- 用于遠程控制發電機輸出功率的 0-5 V 輸入電壓;大于 300 W 的型號的效率超過 90%
- 傳輸功率和反射功率值的模擬輸出
- 輸出功率閉環控制，隨時間穩定調整后的功率
- 足夠的屏蔽以防止輻射和 EMI 噪聲，并采取必要措施來保護作員的健康
- 機架式包裝盒
技術規格
| 電源 | 220 伏（200-240 伏），50 赫茲（50-60 赫茲） |
| 輸出頻率 | 13.56兆赫 |
| 保護 | 各種類型（反射功率保護、過熱保護、過流保護、過壓保護），特別是反射功率限制器 |
| 顯示 | 帶觸摸屏或數字顯示器的圖形顯示 |
| 遙控 | 數字 RS485 |
| 工作溫度 | 10-40°C |
| 冷卻 | 空調 |
| 輸出阻抗 | 50Ω（電阻） |
| 尺寸 （cm） | 取決于設備輸出 |
| 重量 | 取決于設備輸出 |
| 輸出連接器 | N – 7/16 |
| 箱體材質 | 鋁 |
RF生成模型
| RFG150 系列 | RFG300 系列 | RFG600型 | RFG1000 | RFG2000 | RFG5000 | |
| 頻率 （MHz） | 13.56 | 13.56 | 13.56 | 13.56 | 13.56 | 13.56 |
| 功率 （W） | 150 | 300 | 600 | 1000 | 2000 | 5000 |
| 輸出阻抗 （ohms） | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| 連接類型 | 模擬和數字max485 | 模擬和數字max485 | 模擬和數字max485 | 模擬和數字max485 | 模擬和數字max485 | 模擬和數字max485 |
| 前面板顯示 | 液晶顯示器 | 液晶顯示器 | 液晶顯示器 | 液晶顯示器 | 7段 | 7段 |
| 輸出連接器 | N | N | N | N | N | 7/16 |
| 觸摸屏 | 是的 | 是的 | 是的 | 是的 | 不 | 不 |
| 輸入功率 | 單相的 | 單相的 | 單相的 | 單相的 | 3 階段 | 3 階段 |
| 冷卻 | 風冷 | 風冷 | 風冷 | 風冷 | 風冷 | 風冷和水冷 |
