法蘭系統
真空組件是真空系統的一部分,對于安裝真空管線(例如法蘭,密封件,管(彎頭,三通,十字形等),腔室,電氣和光學饋通裝置以及移動元件)必不可少。真空技術中的應用對材料選擇和這些組件的制造都提出了很高的要求。
法蘭系統 | 小法蘭 | 夾緊法蘭 | ConFlat??兼容 | 快速CF | ||||
短期 | ?KF(ISO-KF) | ?ISO(ISO-K,ISO-F) | ?碳纖維 | ?QCF | ||||
公稱直徑[mm] | ?DN10至DN50 | ?DN63至DN630 | ?DN10至DN400 | DN16至DN100 | ||||
標準 | ?DIN 28403 / ISO 2861 | ?DIN 28404 / ISO1609 | ISO 3669-2 | ISO 3669-2 |
存在基于不同法蘭系統的各種應用領域的連接標準。因此,VACOM的真空組件符合所有基本標準。許多組件都可用于潔凈室。這些真空組件的特點是低顆粒污染和產生。對于特高壓中的應用,XHV和UCV要求并經過驗證的排氣速度低。
此外,我們專門根據您的要求制造真空組件