電子槍™

電子束槍或 e-Gun™ 是一種高精度儀器，利用熱能或場發射機制發射電子，設計用于高真空 （HV） 和超高真空 （UHV） 應用。Thermionics 設計的 e-Gun™ 將耐用性、效率和可靠性相結合，以支持您最先進的應用，包括編碼沉積材料加工。

利用電子束技術，各行各業能夠實現精確的蒸發速率，從而實現半導體制造、航空航天和儲能領域的創新。無論是用于研究還是工業生產，我們的技術都能以準確的方式實現創新。

我們的 e-Gun™ 多孔系統為需要多種材料源的 UHV 應用提供了無與倫比的多功能性。這些裝置專為高效的材料標定而設計，可最大限度地提高沉積精度，同時減少停機時間，是航空航天、光學和高級研究應用的理想選擇。

系列：Hanks

我們的高效 Hanks HM2 e-Guns™ 提供獲得專利和屢獲殊榮的模塊化磁束聚焦系統，具有增強的光束準直功能，可消除光束卷曲。

HM2 e-Gun™ 的尺寸也是標準 e-Gun 的 2/3，磁效率提高了 350%

Hanks HM2 多口袋電子槍™

我們的高效 Hanks HM2 e-Guns™ 提供獲得專利和屢獲殊榮的模塊化磁束聚焦系統，具有增強的光束準直功能，可消除光束卷曲。我們創新的 Hanks HM2 Hydra 設計由一 （1） 或兩 （2） 個緊湊的坩堝和發射器陣列組成，它們彼此線性平移，可同時提供多達六種不同材料的共沉積。

特征：

• 優化的發射器和掃頻線圈組件
• 消除極片 – 垂直安裝的磁鐵可產生更少的磁通量
• 0-200 Hz 掃描，可重復，均勻蒸發，無“隧道”和源材料噴發
• 精確穩定的蒸發速率，低至 1-2 A/sec
• 比傳統蒸發源小 35%，具有相同的體積、蒸發速率和功率容量
• 采用 HV [2×10^-9Torr] 和 UHV [2×10^-11托爾]
• 非常適合順序蒸發或共蒸發
• 提供電源、坩堝襯墊和其他附件

模型：

• 單— 7 cc 至 156 cc 單坩堝 / 1 發射器 – 6-20 kW
• 單轉臺— 7 cc 至 25 cc – 4 個坩堝 / 1 個發射器 – 6 & 10 kW
• 雙™— 10 cc， 15 cc， 40 cc – 2 個坩堝 / 2 個發射器 – 10 & 15 kW
• 三合會™— 10 cc， 15 cc， 40 cc – 3 坩堝 / 3 發射器 – 6 & 10 kW
• 四™— 10 cc， 15 cc， 40 cc – 4 坩堝 / 4 發射器 – 6 & 10 kW
• Hydra-1™— 5 個坩堝 / 1-3 個發射器的單個陣列（有關詳細信息，請參閱下面的 Hydra 描述）
• Hydra-2™— 5 個坩堝 / 1-3 個發射器的雙陣列，總共 10 個坩堝 / 2-6 個發射器（有關詳細信息，請參閱下面的 Hydra 描述）

Hanks HM2 Hydra 電子槍™

我們創新的 Hanks HM2 Hydra 設計由一 （1） 或兩 （2） 個緊湊的坩堝和發射器陣列組成，它們彼此線性平移，可同時提供多達六種不同材料的共沉積。

Hydra 配置對空間的有效利用允許在單個真空抽真空中實現六坩堝的四 （4） 種不同組合和多達四十二種兩種金屬組合的排列，用于共沉積。

Hydra 消除了相鄰源的相互作用，無需復雜的光束方向和笨重的場分流組件。因此，共蒸發設計允許靠近源，以實現均勻的涂層和材料相互作用。此外，每個水源的單獨水冷可防止蒸汽積聚，并為每個水源包含單獨的清掃盤管，并促進每個水源的運行參數與相鄰水源的完全獨立性。

Hydra-1 & 2規格