美國(guó)Thermionics, e-Gun™,腔室和附件 ,離子泵,Combo Vac組合真空
Combo Vac組合真空
惰性二極管泵（NP 系列）
泵使用一個(gè)鈦陰極和一個(gè)鉭陰極來(lái)提高惰性氣體的抽速。
Noble Diode
Noble Diode
泵使用一個(gè)鈦陰極和一個(gè)鉭陰極來(lái)提高惰性氣體的抽速。提高的速度消除了標(biāo)準(zhǔn)二極管在長(zhǎng)時(shí)間漏氣時(shí)表現(xiàn)出的壓力和速度不穩(wěn)定，同時(shí)保持了標(biāo)準(zhǔn)二極管的長(zhǎng)壽命和可靠性。這些是惰性氣體負(fù)載最穩(wěn)定的泵。
惰性二極管是用來(lái)泵送惰性氣體的。除了一個(gè)實(shí)例外，它們?cè)诿總€(gè)實(shí)例中都與標(biāo)準(zhǔn)二極管相同。區(qū)別在于使用一個(gè)鉭陰極代替標(biāo)準(zhǔn)泵中的兩個(gè)鈦陰極之一。鉭由于其原子序數(shù)較大，會(huì)產(chǎn)生更多的高能中性子，這些中性子可以埋在不易再濺射的位置。
鉭作為吸氣劑的效果略低于鈦。因此，貴金屬二極管的速度比標(biāo)準(zhǔn)二極管低約 5%。另一個(gè)值得注意的事實(shí)是，在高溫下，氫在鉭中的溶解度會(huì)降低。由于在長(zhǎng)時(shí)間啟動(dòng)時(shí)會(huì)遇到高溫，因此明智的做法是避免需要該泵處理大量氫氣的應(yīng)用。當(dāng)然，應(yīng)用也有所不同。如果您對(duì)泵的適用性有任何疑問(wèn)，請(qǐng)致電我們。我們有各種各樣的先前應(yīng)用程序可供借鑒。
| 型號(hào) | 額定 泵 （l/sec） |
法蘭1 內(nèi)徑/外徑 （英寸） |
重量 （lbs） |
烘烤2 加熱器 數(shù)量 |
替換 元件 |
|---|---|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品編號(hào)：NP-011 | 11 | 1.5/2.75 | 14 | 0 | 事實(shí)。repl. |
| NP-020 NP-020/IH |
203 | 1.5/2.75 | 26 | 0 1 |
事實(shí)。repl. |
| NP-025 NP-025/IH 系列 |
253 | 2.0/3.375 | 27 | 0 1 |
事實(shí)。repl. |
| NP-050 NP-050/DE |
60/504 | 4.9/8.0 | 82 94 元 |
2 | PE-100N 2 個(gè) |
| NP-100 NP-100/DE 系列 |
120/1004 | 6.0/8.0 | 票價(jià)：127 142 元 |
4 | PE-100N 2 個(gè) |
| NP-140 NP-140/DE |
1154, 5 | 6.0/8.0 | 票價(jià)：143 154 元 |
0 | DE-100N 1 個(gè) |
| NP-150 NP-150/DE |
160/1504 | 6.0/8.0 | 145 160 元 |
0 | PE-100N 6 個(gè) |
| NP-200 NP-200/DE |
220/2004 | 6.0/8.0 | 145 160 元 |
4 | PE-100N 8 個(gè) |
| NP-220 NP-220/DE 系列 |
2204 | 6.0/8.0 | 250 290 元 |
0 | DE-100N 2 個(gè) |
| NP-400 NP-400/DE |
4004 | 6.0/8.0 | 票價(jià) 276 290 元 |
8 | PE-100N 16 個(gè) |
| NP-500 NP-500/DE 系列 |
4004 | 6.0/8.0 | 402 460 元 |
0 | DE-100N 4 個(gè) |
* 離子泵的抽速額定值
此表中的一些泵顯示了兩種抽速，即 150/100。當(dāng)遵循美國(guó)真空協(xié)會(huì) （AVS） 制定的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，觀察到較低的數(shù)字。在最佳抽速條件下測(cè)量同一泵時(shí)，觀察到的數(shù)字較高。一些制造商使用最佳抽速，僅報(bào)告這個(gè)更高的數(shù)字。此處提供了這兩個(gè)評(píng)級(jí)，以便客戶做出明智的選擇。
1所有法蘭均兼容 ConFlat，1,000 升/秒泵除外。
2加熱器是 IH-100 型 Calrod 加熱器，可安裝在大多數(shù)泵中匹配的內(nèi)部加熱器井中。
3IH 表示內(nèi)部加熱器可作為選項(xiàng)使用。
4DE 指定雙端選項(xiàng)。
5此泵沒(méi)有可用的烘烤加熱器。
6可根據(jù)特殊訂單提供更大的泵。
標(biāo)準(zhǔn)二極管泵（IP ）
標(biāo)準(zhǔn)二極管泵在每個(gè)泵送元件中使用兩個(gè)鈦陰極。
標(biāo)準(zhǔn)二極管泵浦
標(biāo)準(zhǔn)二極管泵在每個(gè)泵送元件中使用兩個(gè)鈦陰極。它們是大多數(shù)應(yīng)用的首選泵，因?yàn)樗鼈兙哂虚L(zhǎng)壽命、可靠性和高單位速度。當(dāng)需要泵送大量氫氣或惰性氣體或遇到頻繁的高啟動(dòng)負(fù)載時(shí)，不建議使用這些泵。
| 型號(hào) | 額定 泵 （l/sec） |
法蘭1 內(nèi)徑/外徑 （英寸） |
重量 （lbs） |
烘烤2 加熱器 數(shù)量 |
替換 元件 |
|---|---|---|---|---|---|
| 專利-011 | 11 | 1.5/2.75 | 14 | 0 | 事實(shí)。repl. |
| IP-020 型 IP-020/IH |
203 | 1.5/2.75 | 26 | 0 1 |
事實(shí)。repl. |
| IP-025 IP-025/IH 系列 |
253 | 2.0/3.375 | 31 | 0 1 |
事實(shí)。repl. |
| IP-050 IP-050/德國(guó) |
80/504 | 4.9/8.0 | 94 | 2 | PE-100 2 個(gè) |
| IP-100 IP-100/DE |
150/1004 | 6.0/8.0 | 票價(jià)：127 142 元 |
4 | PE-100 2 個(gè) |
| IP-140 型 IP-140/DE |
1404, 5 | 6.0/8.0 | 票價(jià)：140 150 元 |
0 | DE-110 1 個(gè) |
| IP-150 IP-150/DE |
220/1504 | 6.0/8.0 | 145 160 元 |
0 | PE-100 6 個(gè) |
| IP-200 型 IP-200/DE |
270/2004 | 6.0/8.0 | 141 156 元 |
4 | PE-100 8 個(gè) |
| IP-270 IP-270/DE |
2704 | 6.0/8.0 | 250 290 元 |
0 | DE-110 2 個(gè) |
| IP-400 IP-400/德國(guó) |
500/4004 | 6.0/8.0 | 275 290 元 |
8 | PE-100 16 個(gè) |
| IP-500 型 IP-500/DE |
5004, 5 | 6.0/8.0 | 400 460 元 |
0 | DE-110 4 個(gè) |
* 離子泵的抽速額定值
此表中的一些泵顯示了兩種抽速，即 150/100。當(dāng)遵循美國(guó)真空協(xié)會(huì) （AVS） 制定的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，觀察到較低的數(shù)字。在最佳抽速條件下測(cè)量同一泵時(shí)，觀察到的數(shù)字較高。一些制造商使用最佳抽速，僅報(bào)告這個(gè)更高的數(shù)字。此處提供了這兩個(gè)評(píng)級(jí)，以便客戶做出明智的選擇。
通知
由于目前鉭材料供應(yīng)短缺，貴金屬二極管泵的交付如有更改，恕不另行通知。
1所有法蘭均兼容 ConFlat，1,000 升/秒泵除外。
2加熱器是 IH-100 型 Calrod 加熱器，可安裝在大多數(shù)泵中匹配的內(nèi)部加熱器井中。
3IH 表示內(nèi)部加熱器可作為選項(xiàng)使用。
4DE 指定雙端選項(xiàng)。
5此泵沒(méi)有可用的烘烤加熱器。
6可根據(jù)特殊訂單提供更大的泵。
鈦熱升華
鈦升華泵 （TSP） 用于泵送化學(xué)反應(yīng)性、可獲取氣體。鈦有效、易升華且價(jià)格低廉。
鈦升華泵
鈦升華泵 （TSP） 用于泵送化學(xué)反應(yīng)性、可獲取氣體。鈦有效、易升華且價(jià)格低廉。
TSP 具有較高的抽速。在低于 10-6 Torr 的壓力下，抽速取決于冷凝的可用表面積。通過(guò)用水或液氮冷卻基材表面來(lái)提高抽速。鈦升華泵的細(xì)絲是 85% 的鈦和 15% 的鉬，這種組合可以防止細(xì)絲過(guò)早“燃盡”。
訂購(gòu)信息：
型號(hào) |
安裝法蘭 |
SB-1000 型 |
3.38“ 安裝法蘭 |
SB-1020 型 |
2.75“ 安裝法蘭 |
選項(xiàng)：
SB-1002B 系列 |
帶 Amphenol 母頭 MS 連接器和可 烘烤電纜的可烘烤適配器 |
SB-1001 型 |
12 根螺旋絲 材料：85% Ti，15% Mo 長(zhǎng)度：卷取前 8-5/8 英寸; 4-5/8“ 卷繞 重量：3.6 克/細(xì)絲 可用鈦：1.5 克/細(xì)絲 （包裝包括 12 根細(xì)絲） |
PS-500 升華器電源
指定是否與帶有 2.75 英寸或 3.38 英寸法蘭的升華器一起使用。示例：PS-500/275 或 PS-500/338。
PS-500 的規(guī)格
| 物理的 | 電氣輸入1 | 電氣輸出2 | 定時(shí)器范圍 | 顯示 |
|---|---|---|---|---|
| 機(jī)架尺寸 — 19“ 機(jī)箱尺寸 — 8-3/4” x 17“ x 12” 船重 — 50 磅 交流電源線 — 15 英尺（帶插頭） |
電壓— 115 VAC 頻率— 60 Hz |
電壓 — 12 VAC 最大電流 — 50 A 用于 4 根燈絲的選擇器開(kāi)關(guān) |
關(guān)閉時(shí)間 — 2 至 120 分鐘 導(dǎo)通時(shí)間 — 4 至 120 秒 |
模擬儀表， 電流 75 A |
| 1230/208 VAC 和/或 50 Hz 作為特殊訂單提供。請(qǐng)?jiān)谟嗁?gòu)時(shí)指定。 2使用 SB-1001 螺旋絲。 |
||||
用于 TSP 的液氮護(hù)罩
高速 LN2冷卻的低溫護(hù)罩。全溢流設(shè)計(jì)使所有表面保持在 LN 中2溫度。易于拆卸以進(jìn)行維護(hù)。全不銹鋼結(jié)構(gòu)。
型號(hào) SS400/275帶 8 英寸外徑主法蘭和 |
型號(hào) SS400/338帶 8 英寸外徑的主法蘭和 |
Triaux 泵 （TP 系列）
與二極管泵相比，泵使用反向極性和完全不同的陰極設(shè)計(jì)來(lái)實(shí)現(xiàn)兩個(gè)重要優(yōu)勢(shì)：（1） 電隔離陰極允許將啟動(dòng)輝光放電限制在明顯更高的壓力下，從而縮短啟動(dòng)時(shí)間;（2） 濺射陰極設(shè)計(jì)允許惰性和非惰性氣體濺射。Triode 對(duì)惰性氣體具有最高速度，并且在發(fā)生空氣泄漏時(shí)不會(huì)產(chǎn)生氬氣不穩(wěn)定。
Triode 泵
三極管
與二極管泵相比，泵使用反向極性和完全不同的陰極設(shè)計(jì)來(lái)實(shí)現(xiàn)兩個(gè)重要優(yōu)勢(shì)：（1） 電隔離陰極允許將啟動(dòng)輝光放電限制在明顯更高的壓力下，從而縮短啟動(dòng)時(shí)間;（2） 濺射陰極設(shè)計(jì)允許惰性和非惰性氣體濺射。Triode 對(duì)惰性氣體具有最高速度，并且在發(fā)生空氣泄漏時(shí)不會(huì)產(chǎn)生氬氣不穩(wěn)定。缺點(diǎn)：由于濺射陰極設(shè)計(jì)，三極管泵需要更頻繁的維護(hù)。
| 型號(hào) | 額定 泵速 （l/sec） |
法蘭1 內(nèi)徑/外徑 （英寸） |
重量 （lbs） |
替換 元件 |
|---|---|---|---|---|
| TP-020 | 20 | 1.5/2.75 | 27 | 事實(shí)。repl. |
| TP-030 | 30 | 2.84/4.50 | 34 | 事實(shí)。repl. |
| TP-060 | 602 | 4.26/6.0 | 56 | TE-060 2 個(gè) |
| TP-110 系列 | 1102 | 6.0/8.0 | 164 | 1 個(gè) TE-110 |
| TP-220 系列 | 2202 | 6.0/8.0 | 249 | 1 個(gè) TE-110 |
| TP-400 型 | 4002 | 6.0/8.0 | 398 | 4 個(gè) TE-110 |
| TP-800 型 | 8002 | 10.75/12.75 鋼絲密封法蘭 |
927 | TE-110 8 個(gè) |
2可根據(jù)特殊訂單提供雙端泵
