雙隔膜傳感器
5.0E-3至1333毫巴測量范圍，適用于與氣體類型無關(guān)的測量

耐腐蝕性
可選陶瓷或聚對(duì)二甲苯傳感器保護(hù)

數(shù)字與模擬接口
通過數(shù)字接口、模擬輸出及設(shè)定點(diǎn)繼電器實(shí)現(xiàn)靈活系統(tǒng)集成

大氣壓力切換
相對(duì)于大氣壓力的測量，確保通風(fēng)循環(huán)的精準(zhǔn)控制

VDM-7 DiCAP™ ATM雙傳感器真空變送器

VDM-7 DiCAP™ ATM變送器采用雙傳感器設(shè)計(jì)，樹立了新的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。相比其他真空計(jì)，其優(yōu)勢在于提供經(jīng)濟(jì)高效、與氣體類型無關(guān)的測量，范圍覆蓋?5.0E-3 至 1333 mbar。此外，它還能進(jìn)行相對(duì)于環(huán)境壓力的附加測量，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)真空系統(tǒng)排氣過程的精準(zhǔn)控制。

重新定義真空測量

VDM-7 DiCAP™ ATM 是一款創(chuàng)新的多傳感器真空計(jì)，既能替代傳統(tǒng)皮拉尼真空計(jì)并顯著提升其性能，也可作為經(jīng)濟(jì)高效的一體化解決方案，取代以往需要電容式壓力傳感器和皮拉尼真空計(jì)組合使用的應(yīng)用場景。

VDM-7真空變送器的核心技術(shù)優(yōu)勢

VDM-7采用與廣受好評(píng)的VPM-7真空變送器相同的大氣壓力傳感技術(shù)（專為負(fù)載鎖定應(yīng)用設(shè)計(jì)）。通過氣壓傳感器與壓電式絕對(duì)真空傳感器的組合，可提供相對(duì)于大氣壓力的精準(zhǔn)信號(hào)，從而實(shí)現(xiàn)真空系統(tǒng)排氣循環(huán)的精確控制。

嚴(yán)苛工況的應(yīng)對(duì)方案
針對(duì)腐蝕性/活性氣體環(huán)境，DiCAP™系列可提供特殊防護(hù)涂層作為有效屏障：

• 陶瓷保護(hù)層
  具有卓越的耐腐蝕性，是電容式薄膜規(guī)（CDG）真空傳感器膜片的可靠材質(zhì)選擇
• 聚對(duì)二甲苯（Parylene）涂層
  這種獨(dú)特聚合物兼具超強(qiáng)耐腐蝕性與疏水性，特別適用于凍干工藝和過氧化氫滅菌等醫(yī)療應(yīng)用

對(duì)于存在顆粒物污染的真空工藝，DiCAP™變送器可選配防護(hù)擋板以阻擋宏觀顆粒。結(jié)合上述防護(hù)涂層方案，該系列產(chǎn)品能在最具挑戰(zhàn)性的真空環(huán)境中保持穩(wěn)定性能。

在氣體成分或類型可能變化的真空應(yīng)用中，傳統(tǒng)的氣體依賴性皮拉尼（Pirani）真空計(jì)通常會(huì)產(chǎn)生與實(shí)際壓力較大的測量偏差。而 VDM-7 變送器采用高精度電容式薄膜規(guī)（CDG）傳感器，徹底消除了氣體依賴性，即使氣體性質(zhì)發(fā)生變化，也能提供精確的測量結(jié)果。

VDM-7 DiCAP™ ATM 真空變送器專為先進(jìn)真空工藝的可靠測量與控制而設(shè)計(jì)，廣泛適用于工業(yè)與科研領(lǐng)域的多種應(yīng)用場景。我們提供豐富的VDM-7配置選項(xiàng)，以滿足不同應(yīng)用的多樣化需求。

典型應(yīng)用領(lǐng)域

PVD鍍膜
配備可維護(hù)擋板保護(hù)的VDM-5型號(hào)，特別適用于物理氣相沉積（PVD）鍍膜工藝，確保設(shè)備長期穩(wěn)定運(yùn)行。

真空熱處理
精準(zhǔn)測量與控制真空熱處理過程中的壓力變化。工業(yè)級(jí)應(yīng)用可選配擋板及防護(hù)涂層方案。

空間環(huán)境模擬
為模擬極端太空環(huán)境提供精確的真空氣體壓力測量解決方案。

真空蒸餾
用于氫氣儲(chǔ)罐及輸送管道絕緣真空的測量與監(jiān)控。

半導(dǎo)體制造
適用于化學(xué)氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）及前置真空測量。可選配耐腐蝕陶瓷傳感器。

等離子滅菌
創(chuàng)新的雙傳感器一體化設(shè)計(jì)，為過氧化氫（H?O?）滅菌工藝提供完整的真空測量方案。