sens4 VPM-7 ATM真空傳感器、sens4 VPM-7 SmartPirani™ ATM真空傳感器、sens4 VPM-7真空傳感器、sens4 VPM-7真空計(jì)

VDM-5 DiCAP™ 膜片式真空變送器

雙膜片傳感器技術(shù)
? 5.0E-3至1333毫巴寬量程測(cè)量
? 氣體類型無(wú)關(guān)的精確測(cè)量

卓越的耐腐蝕性能
? 可選陶瓷或聚對(duì)二甲苯(Parylene)傳感器保護(hù)涂層
? 適用于腐蝕性氣體和惡劣工藝環(huán)境

靈活的接口配置
? 數(shù)字接口（便于系統(tǒng)集成）
? 模擬量輸出（兼容傳統(tǒng)系統(tǒng)）
? 設(shè)定點(diǎn)繼電器（用于過程控制）

高性價(jià)比解決方案
? 單臺(tái)設(shè)備集成雙電容式膜片規(guī)功能
? 降低系統(tǒng)復(fù)雜性和總體擁有成本

典型應(yīng)用
? 半導(dǎo)體工藝設(shè)備
? 真空鍍膜系統(tǒng)
? 分析儀器
? 科研實(shí)驗(yàn)裝置

VDM-5 DiCAP™傳感器以一體式測(cè)量方案為各類真空應(yīng)用樹立新標(biāo)桿。其5.0E-3至1333毫巴的氣體類型無(wú)關(guān)測(cè)量范圍兼具成本效益，使之在眾多真空計(jì)中脫穎而出。

在氣體成分可能變化的真空環(huán)境中，傳統(tǒng)依賴氣體類型的皮拉尼真空計(jì)常出現(xiàn)測(cè)量偏差。VDM-5采用精密電容式薄膜規(guī)（CDG）傳感器，徹底消除氣體依賴性，即使氣體特性發(fā)生變化也能確保測(cè)量精準(zhǔn)。

重新定義真空測(cè)量
VDM-5 DiCAP™ 是一款創(chuàng)新的多傳感器真空計(jì)，既能提升傳統(tǒng)皮拉尼真空計(jì)應(yīng)用的性能，也可作為經(jīng)濟(jì)高效的一體化解決方案，替代分立的電容式壓力計(jì)與皮拉尼真空計(jì)組合。

勝任嚴(yán)苛工況的卓越性能
面對(duì)腐蝕性或活性氣體的應(yīng)用環(huán)境，DiCAP™可選配共形保護(hù)鍍層，形成有效防護(hù)屏障。

VDM-5 DiCAP™傳感器系列提供陶瓷或聚對(duì)二甲苯（Parylene）可選保護(hù)層，確保傳感材料免受腐蝕氧化威脅：

• 陶瓷層：具有卓越的耐腐蝕特性，是電容式薄膜規(guī)真空傳感器膜片的可靠材質(zhì)
• 聚對(duì)二甲苯：這種獨(dú)特聚合物兼具超強(qiáng)耐腐蝕性與疏水性，特別適用于凍干滅菌、過氧化氫消毒等醫(yī)療應(yīng)用

針對(duì)存在顆粒物威脅的真空工藝，DiCAP™傳感器可加裝防護(hù)擋板阻隔宏觀顆粒。結(jié)合多重保護(hù)鍍層選項(xiàng)，該系列產(chǎn)品專為在挑戰(zhàn)性真空環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行而設(shè)計(jì)。

應(yīng)用與市場(chǎng)
VDM-5 DiCAP™ 專為先進(jìn)真空工藝的可靠測(cè)量與控制而設(shè)計(jì)，適用于工業(yè)與科學(xué)領(lǐng)域的多種應(yīng)用。我們提供多種 VDM-5 配置方案，以滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的多樣化需求。

物理氣相沉積 (PVD)
PVD 鍍膜
配備可維護(hù)擋板保護(hù)的 VDM-5，能在物理氣相沉積 (PVD) 鍍膜應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)效穩(wěn)定運(yùn)行。

真空爐應(yīng)用
真空熱處理
在真空熱處理過程中精確測(cè)量與控制真空度。工業(yè)應(yīng)用可選配擋板及鍍層保護(hù)組件。

太空環(huán)境模擬
太空模擬
在模擬極端太空環(huán)境時(shí)，精準(zhǔn)測(cè)量真空氣體壓力。

真空蒸餾
蒸餾工藝
用于氫氣儲(chǔ)罐及輸送管道中絕緣真空的測(cè)量與監(jiān)測(cè)。

半導(dǎo)體行業(yè)
半導(dǎo)體制造
適用于化學(xué)氣相沉積 (CVD)、物理氣相沉積 (PVD) 及半導(dǎo)體前級(jí)管線的真空測(cè)量。可選配陶瓷抗腐蝕傳感器。

等離子滅菌
過氧化氫滅菌
利用雙傳感器一體化設(shè)計(jì)，為過氧化氫滅菌工藝提供全面測(cè)量解決方案。