VDM-3陶瓷膜片真空傳感器技術(shù)參數(shù)

測量范圍
0.1至1333毫巴
采用陶瓷膜片傳感器技術(shù)，實(shí)現(xiàn)與氣體種類無關(guān)的精確測量

耐腐蝕性能
可兼容多種酸類和溶劑介質(zhì)

雙傳感器組合技術(shù)
? 真空絕對壓力測量
? 大氣相對壓力測量

真空系統(tǒng)通風(fēng)控制
? 表壓測量功能
? 大氣壓力切換選項

核心技術(shù)特點(diǎn)
VDM-3采用耐腐蝕氧化鋁陶瓷膜片設(shè)計，其形變隨施加壓力變化。核心壓力傳感元件采用壓阻式測量技術(shù)，可不受氣體類型或成分影響，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)真空壓力測量。

除絕對壓力傳感器外，本產(chǎn)品集成大氣壓力傳感器，可測量環(huán)境壓力并生成相對于大氣壓力的真空測量信號。該大氣相對壓力測量技術(shù)，可在真空系統(tǒng)通風(fēng)至大氣壓時實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制。

相較于傳統(tǒng)采用油浸式傳感元件的不銹鋼壓電傳感器，VDM-3的陶瓷壓電傳感元件保持完全干燥狀態(tài)，徹底避免真空系統(tǒng)污染風(fēng)險。

電容式膜片真空規(guī)的革新替代方案

電容式膜片真空規(guī)(CDGs)長期以來被廣泛應(yīng)用于各類先進(jìn)真空工藝的測量與控制領(lǐng)域。VDM-3傳感器以其卓越的性價比和緊湊型設(shè)計，成為傳統(tǒng)1000托/毫巴全量程電容式膜片規(guī)的理想替代品。

創(chuàng)新性功能整合
對于需要獨(dú)立大氣壓力開關(guān)的應(yīng)用場景，VDM-3創(chuàng)新性地將真空測量與大氣壓力切換功能集成于單一設(shè)備中，顯著提升系統(tǒng)集成度。

嚴(yán)苛環(huán)境適應(yīng)性

• 測量范圍覆蓋工業(yè)級需求
• 特殊設(shè)計的氧化鋁陶瓷膜片可耐受腐蝕性氣體和化學(xué)物質(zhì)
• 對多種溶劑和酸類介質(zhì)表現(xiàn)出優(yōu)異的耐腐蝕特性

多重防護(hù)配置可選

1. 聚對二甲苯(Parylene)防護(hù)涂層：
   • 獨(dú)特的高分子材料具有超強(qiáng)耐腐蝕和疏水特性
   • 特別適用于醫(yī)療設(shè)備凍干工藝和過氧化氫等離子滅菌等專業(yè)領(lǐng)域
2. 防護(hù)擋板選件：
   • 有效阻隔真空系統(tǒng)中的宏觀顆粒物
   • 防止污染物在傳感器膜片表面沉積

卓越的機(jī)械可靠性
氧化鋁傳感元件采用強(qiáng)化設(shè)計，具備出色的抗沖擊能力，可承受：

• 瞬時通風(fēng)工況
• 最高2巴絕對壓力(29磅/平方英寸)的過壓條件