sens4 VDM-2陶瓷膜片真空傳感器

VDM-2陶瓷膜片真空傳感器
| 真空測(cè)量 |

測(cè)量范圍
0.1至1333毫巴
采用陶瓷膜片傳感器,實(shí)現(xiàn)與氣體種類(lèi)無(wú)關(guān)的精準(zhǔn)測(cè)量

卓越耐腐蝕性
兼容多種酸類(lèi)和溶劑

多樣化控制選項(xiàng)
配備模擬/數(shù)字接口及過(guò)程控制設(shè)定點(diǎn)繼電器

即插即用替換方案
引腳與輸出信號(hào)兼容其他廠商的鋼制壓電傳感器

VDM-2陶瓷膜片真空傳感器采用耐腐蝕氧化鋁膜片設(shè)計(jì),其形變程度與所受壓力呈函數(shù)關(guān)系。核心壓力傳感元件運(yùn)用壓阻式測(cè)量原理,可不受氣體類(lèi)型或成分影響,實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)真空壓力測(cè)量。

相較于傳統(tǒng)采用油浸式傳感元件的不銹鋼壓電傳感器,VDM-2的陶瓷壓電傳感元件保持潔凈干燥狀態(tài),徹底杜絕真空系統(tǒng)污染風(fēng)險(xiǎn)。

電容式膜片規(guī)的替代方案
電容式膜片規(guī)(CDGs)廣泛應(yīng)用于各類(lèi)先進(jìn)工藝的真空測(cè)量與控制領(lǐng)域。VDM-2傳感器作為傳統(tǒng)1000托/毫巴全量程電容式膜片規(guī)的經(jīng)濟(jì)型緊湊替代方案,具有顯著優(yōu)勢(shì)。

VDM-2測(cè)量范圍與嚴(yán)苛環(huán)境適應(yīng)性
VDM-2專(zhuān)為存在腐蝕性氣體和化學(xué)物質(zhì)的嚴(yán)苛真空環(huán)境設(shè)計(jì)。氧化鋁陶瓷膜片具有卓越的耐腐蝕特性,可耐受多種溶劑和酸類(lèi)的侵蝕。

VDM-2 Measurement Range

可選防護(hù)配置

  1. 聚對(duì)二甲苯防護(hù)涂層:
    該特殊聚合物涂層具有優(yōu)異的耐腐蝕性和疏水特性,特別適用于醫(yī)療應(yīng)用場(chǎng)景,如凍干工藝和醫(yī)療器械的過(guò)氧化氫等離子滅菌。
  2. 防護(hù)擋板選件:
    針對(duì)存在宏觀顆粒物的真空系統(tǒng)和工藝,可有效阻隔污染物在傳感器膜片上的沉積。

卓越的機(jī)械強(qiáng)度
氧化鋁傳感元件結(jié)構(gòu)堅(jiān)固,可承受瞬時(shí)通風(fēng)和最高2巴絕對(duì)壓力(29磅/平方英寸絕對(duì)壓力)的過(guò)壓工況。

先進(jìn)真空工藝的測(cè)量與控制
VDM-2傳感器以卓越的性價(jià)比,為工業(yè)與科研領(lǐng)域的前級(jí)真空壓力監(jiān)測(cè)提供理想解決方案。該產(chǎn)品兼具模擬與數(shù)字輸出功能,為多樣化真空控制應(yīng)用提供靈活而精確的測(cè)量手段。

VDM-2傳感器配備RS-232和RS-485串行接口,可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)距離無(wú)損信號(hào)傳輸,有效避免電纜衰減和電磁干擾的影響。

通過(guò)數(shù)字接口,用戶可進(jìn)行:

  • 設(shè)備診斷與預(yù)測(cè)性維護(hù)
  • 服務(wù)校準(zhǔn)與設(shè)定點(diǎn)配置
  • 模擬輸出比例調(diào)節(jié)
  • 實(shí)時(shí)真空壓力數(shù)據(jù)采集及可視化顯示

特別值得注意的是,當(dāng)模擬輸出設(shè)置為100托等小量程范圍時(shí),數(shù)字輸出仍可獨(dú)立提供高達(dá)1333毫巴(1000托)的全量程測(cè)量能力。

應(yīng)用領(lǐng)域與市場(chǎng)
VDM-2陶瓷膜片真空傳感器專(zhuān)為先進(jìn)真空工藝的可靠測(cè)量與控制而設(shè)計(jì),適用于工業(yè)與科研領(lǐng)域的多種應(yīng)用場(chǎng)景。產(chǎn)品提供豐富的VPM-5配置選項(xiàng),可滿足不同應(yīng)用的個(gè)性化需求。

主要應(yīng)用場(chǎng)景

  1. 物理氣相沉積(PVD)
    • PVD鍍膜工藝
      配備可維護(hù)擋板保護(hù)的VDM-2傳感器,可在物理氣相沉積(PVD)鍍膜應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)效穩(wěn)定運(yùn)行。
  2. 工業(yè)爐真空應(yīng)用
    • 真空熱處理
      精確測(cè)量與控制熱處理過(guò)程中的真空度,可選配擋板及特殊涂層保護(hù),滿足嚴(yán)苛工業(yè)環(huán)境需求。

Specifications

Measuring range in mbar0.1 to 1333 mbar (0.1 to 1000 Torr)
Measuring principleCeramic diaphragm piezo resistive
Accuracy 100 to 1333 mbar0.5% of reading
Accuracy 1 to 99.9 mbar0.05% of full scale (1333 mbar)
Hysteresis 0.1?to 10 mbar (ISO19685:2017)1%
Hysteresis 10 to 1200 mbar (ISO19685:2017)0.1%
Analog output resolution16 bit (150 μV)
Analog output update rate560 Hz
Response time (ISO 19685:2017)<20 ms
Temperature compensation+10 to +50 °C
Solid state relay set point range1 to 1333 mbar (0.75 to 1000 Torr)
Solid state relay contact rating50 V, 100 mArms / mADC
Solid state relay approvalsUL Recognized: File E76270

CSA?Certified: Certificate 1175739

EN/IEC 60950-1 Certified

Environment conditions
Operating ambient temperature-20 to +50 °C
Media temperature-20 to +50 °C
Storage ambient temperature-40 to +80 °C
Bake-out temperature (non-operating)+80 °C
Maximum media pressure(3)2 bar absolute (29 psia)
Burst pressure(4)4 bar absolute (58 psia)
Mounting positionArbitrary
Protection rating, EN 60529/A2:2013IP40
Humidity, IEC 68-2-3898%, non-condensing
Power supply
Supply voltage12-30 VDC
Power consumption240 mW (max)
Reverse polarity protectionYes
Overvoltage protectionYes
Internal fuse100 mA (thermal recoverable)
Materials
EnclosureSS 1.4307 / AISI 304L / Aluminum 6061
Vacuum Process flange (media wetted)SS 1.4401 / AISI 316
Vacuum exposed materials (media wetted) Standard version316 Stainless steel, Viton?, Aluminum oxide ceramic (AI2O3)
Vacuum exposed materials (media wetted) Parylene protected version316 Stainless steel, Viton?, Parylene
Process leak tightness<1·10-9 mbar·l/s
Approvals
CEEMC directive 2014/30/EU
RoHS complianceDirective EU 2015/863

Related posts