VDM-2陶瓷膜片真空傳感器
| 真空測(cè)量 |
測(cè)量范圍
0.1至1333毫巴
采用陶瓷膜片傳感器,實(shí)現(xiàn)與氣體種類(lèi)無(wú)關(guān)的精準(zhǔn)測(cè)量
卓越耐腐蝕性
兼容多種酸類(lèi)和溶劑
多樣化控制選項(xiàng)
配備模擬/數(shù)字接口及過(guò)程控制設(shè)定點(diǎn)繼電器
即插即用替換方案
引腳與輸出信號(hào)兼容其他廠商的鋼制壓電傳感器
VDM-2陶瓷膜片真空傳感器采用耐腐蝕氧化鋁膜片設(shè)計(jì),其形變程度與所受壓力呈函數(shù)關(guān)系。核心壓力傳感元件運(yùn)用壓阻式測(cè)量原理,可不受氣體類(lèi)型或成分影響,實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)真空壓力測(cè)量。
相較于傳統(tǒng)采用油浸式傳感元件的不銹鋼壓電傳感器,VDM-2的陶瓷壓電傳感元件保持潔凈干燥狀態(tài),徹底杜絕真空系統(tǒng)污染風(fēng)險(xiǎn)。
電容式膜片規(guī)的替代方案
電容式膜片規(guī)(CDGs)廣泛應(yīng)用于各類(lèi)先進(jìn)工藝的真空測(cè)量與控制領(lǐng)域。VDM-2傳感器作為傳統(tǒng)1000托/毫巴全量程電容式膜片規(guī)的經(jīng)濟(jì)型緊湊替代方案,具有顯著優(yōu)勢(shì)。
VDM-2測(cè)量范圍與嚴(yán)苛環(huán)境適應(yīng)性
VDM-2專(zhuān)為存在腐蝕性氣體和化學(xué)物質(zhì)的嚴(yán)苛真空環(huán)境設(shè)計(jì)。氧化鋁陶瓷膜片具有卓越的耐腐蝕特性,可耐受多種溶劑和酸類(lèi)的侵蝕。
可選防護(hù)配置
- 聚對(duì)二甲苯防護(hù)涂層:
該特殊聚合物涂層具有優(yōu)異的耐腐蝕性和疏水特性,特別適用于醫(yī)療應(yīng)用場(chǎng)景,如凍干工藝和醫(yī)療器械的過(guò)氧化氫等離子滅菌。 - 防護(hù)擋板選件:
針對(duì)存在宏觀顆粒物的真空系統(tǒng)和工藝,可有效阻隔污染物在傳感器膜片上的沉積。
卓越的機(jī)械強(qiáng)度
氧化鋁傳感元件結(jié)構(gòu)堅(jiān)固,可承受瞬時(shí)通風(fēng)和最高2巴絕對(duì)壓力(29磅/平方英寸絕對(duì)壓力)的過(guò)壓工況。
先進(jìn)真空工藝的測(cè)量與控制
VDM-2傳感器以卓越的性價(jià)比,為工業(yè)與科研領(lǐng)域的前級(jí)真空壓力監(jiān)測(cè)提供理想解決方案。該產(chǎn)品兼具模擬與數(shù)字輸出功能,為多樣化真空控制應(yīng)用提供靈活而精確的測(cè)量手段。
VDM-2傳感器配備RS-232和RS-485串行接口,可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)距離無(wú)損信號(hào)傳輸,有效避免電纜衰減和電磁干擾的影響。
通過(guò)數(shù)字接口,用戶可進(jìn)行:
- 設(shè)備診斷與預(yù)測(cè)性維護(hù)
- 服務(wù)校準(zhǔn)與設(shè)定點(diǎn)配置
- 模擬輸出比例調(diào)節(jié)
- 實(shí)時(shí)真空壓力數(shù)據(jù)采集及可視化顯示
特別值得注意的是,當(dāng)模擬輸出設(shè)置為100托等小量程范圍時(shí),數(shù)字輸出仍可獨(dú)立提供高達(dá)1333毫巴(1000托)的全量程測(cè)量能力。
應(yīng)用領(lǐng)域與市場(chǎng)
VDM-2陶瓷膜片真空傳感器專(zhuān)為先進(jìn)真空工藝的可靠測(cè)量與控制而設(shè)計(jì),適用于工業(yè)與科研領(lǐng)域的多種應(yīng)用場(chǎng)景。產(chǎn)品提供豐富的VPM-5配置選項(xiàng),可滿足不同應(yīng)用的個(gè)性化需求。
主要應(yīng)用場(chǎng)景
- 物理氣相沉積(PVD)
- PVD鍍膜工藝
配備可維護(hù)擋板保護(hù)的VDM-2傳感器,可在物理氣相沉積(PVD)鍍膜應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)效穩(wěn)定運(yùn)行。
- PVD鍍膜工藝
- 工業(yè)爐真空應(yīng)用
- 真空熱處理
精確測(cè)量與控制熱處理過(guò)程中的真空度,可選配擋板及特殊涂層保護(hù),滿足嚴(yán)苛工業(yè)環(huán)境需求。
- 真空熱處理
Specifications | |
Measuring range in mbar | 0.1 to 1333 mbar (0.1 to 1000 Torr) |
Measuring principle | Ceramic diaphragm piezo resistive |
Accuracy 100 to 1333 mbar | 0.5% of reading |
Accuracy 1 to 99.9 mbar | 0.05% of full scale (1333 mbar) |
Hysteresis 0.1?to 10 mbar (ISO19685:2017) | 1% |
Hysteresis 10 to 1200 mbar (ISO19685:2017) | 0.1% |
Analog output resolution | 16 bit (150 μV) |
Analog output update rate | 560 Hz |
Response time (ISO 19685:2017) | <20 ms |
Temperature compensation | +10 to +50 °C |
Solid state relay set point range | 1 to 1333 mbar (0.75 to 1000 Torr) |
Solid state relay contact rating | 50 V, 100 mArms / mADC |
Solid state relay approvals | UL Recognized: File E76270 CSA?Certified: Certificate 1175739 EN/IEC 60950-1 Certified |
Environment conditions | |
Operating ambient temperature | -20 to +50 °C |
Media temperature | -20 to +50 °C |
Storage ambient temperature | -40 to +80 °C |
Bake-out temperature (non-operating) | +80 °C |
Maximum media pressure(3) | 2 bar absolute (29 psia) |
Burst pressure(4) | 4 bar absolute (58 psia) |
Mounting position | Arbitrary |
Protection rating, EN 60529/A2:2013 | IP40 |
Humidity, IEC 68-2-38 | 98%, non-condensing |
Power supply | |
Supply voltage | 12-30 VDC |
Power consumption | 240 mW (max) |
Reverse polarity protection | Yes |
Overvoltage protection | Yes |
Internal fuse | 100 mA (thermal recoverable) |
Materials | |
Enclosure | SS 1.4307 / AISI 304L / Aluminum 6061 |
Vacuum Process flange (media wetted) | SS 1.4401 / AISI 316 |
Vacuum exposed materials (media wetted) Standard version | 316 Stainless steel, Viton?, Aluminum oxide ceramic (AI2O3) |
Vacuum exposed materials (media wetted) Parylene protected version | 316 Stainless steel, Viton?, Parylene |
Process leak tightness | <1·10-9 mbar·l/s |
Approvals | |
CE | EMC directive 2014/30/EU |
RoHS compliance | Directive EU 2015/863 |