德國Protemics太赫茲近場掃描系統(tǒng)是任何類型太赫茲近場成像應(yīng)用的理想模塊化平臺。所有太赫茲近場掃描系統(tǒng)組件都針對TeraSpeek微探針的最大性能利用進(jìn)行了優(yōu)化。
德國Protemics太赫茲近場掃描系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)配置可以與客戶側(cè)的合適激光系統(tǒng)相結(jié)合，也可以擴(kuò)展為新的激光源用于光激發(fā)。
德國Protemics太赫茲近場掃描系統(tǒng)專為以下應(yīng)用而設(shè)計(jì)：
THz超材料研究與傳感應(yīng)用
半導(dǎo)體晶片檢查
薄層電阻成像
石墨烯分析
THz器件特性
微觀結(jié)構(gòu)分析
無損檢測
德國Protemics太赫茲近場掃描系統(tǒng)
TeraCube Scientific和新型TeraCube M2是全自動(dòng)太赫茲近場掃描系統(tǒng)，可在光學(xué)實(shí)驗(yàn)室周圍運(yùn)行。這兩個(gè)系統(tǒng)都能夠在到樣品表面的受控距離內(nèi)對THz場分布進(jìn)行時(shí)域測量。Protemics專有的TeraSpeak近場微探針用于對通過平面樣品傳輸或從平面樣品反射的寬帶THz脈沖進(jìn)行成像。
德國Protemics太赫茲近場掃描系統(tǒng)主要特點(diǎn)：
通過同步運(yùn)動(dòng)控制和實(shí)時(shí)位置檢測實(shí)現(xiàn)連續(xù)運(yùn)動(dòng)掃描的高速數(shù)據(jù)采集
結(jié)構(gòu)化或彎曲樣品上恒定微探針/表面距離的自適應(yīng)THz表面掃描的光學(xué)樣品形貌檢測
用于偏振相關(guān)測量的線性偏振和可旋轉(zhuǎn)THz發(fā)射器
高性能THz發(fā)射器/探測器組件加上高動(dòng)態(tài)范圍鎖定檢測，可實(shí)現(xiàn)出色的信號質(zhì)量
可選集成CCD相機(jī)模塊，用于監(jiān)測微探針尖端和樣品位置
系統(tǒng)控制和測量自動(dòng)化軟件，具有易于操作的圖形用戶界面，可輕松安裝在隨附的PC單元上
軟件實(shí)現(xiàn)的對齊監(jiān)測功能和系統(tǒng)健康檢查電子設(shè)備
軟件輔助微探針尖端到樣品表面近似
用于快速光學(xué)對準(zhǔn)的時(shí)域信號預(yù)覽模式
以純文本或Matlab兼容格式導(dǎo)出數(shù)據(jù)
激光和防塵系統(tǒng)外殼
開放式可擴(kuò)展實(shí)驗(yàn)室型系統(tǒng)平臺
德國Protemics太赫茲近場掃描系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：
| ?Type | TeraCube Scientific | TeraCube M2 |
| 頻譜寬度 | 0.05 – 3 THz | 0.05 – 4 THz |
| ?最大樣品尺寸 (x, y, z) | 20 cm, 20 cm, 1 cm | |
| ?最大掃描速度 (x, y) | up to 100 mm/s | |
| ?每個(gè)像素最少掃描時(shí)間 | 10 ms / Single TD position | 10 ms / Full TD Transient (5ps) |
| ?最大掃描范圍 (x, y, z) | 18 cm, 18 cm, 3 mm | |
| ?時(shí)域譜掃描范圍 | 1000 ps | 5 .. 200 ps |
| ?時(shí)域譜步進(jìn)分辨率 (dt) | 6.6 fs | 50 fs |
| ?最小雙向重復(fù)性 (x, y, z) | +-0.1 μm,?+-0.1?μm, +-0.15 μm | |
| ?最小步進(jìn)分辨率 (dx, dy, dz) | 0.1 μm, 0.1 μm, 0.15 μm | |
