德國Protemics太赫茲近場掃描系統是任何類型太赫茲近場成像應用的理想模塊化平臺。所有太赫茲近場掃描系統組件都針對TeraSpeek微探針的最大性能利用進行了優化。
德國Protemics太赫茲近場掃描系統標準配置可以與客戶側的合適激光系統相結合,也可以擴展為新的激光源用于光激發。
德國Protemics太赫茲近場掃描系統專為以下應用而設計:
THz超材料研究與傳感應用
半導體晶片檢查
薄層電阻成像
石墨烯分析
THz器件特性
微觀結構分析
無損檢測
德國Protemics太赫茲近場掃描系統
TeraCube Scientific和新型TeraCube M2是全自動太赫茲近場掃描系統,可在光學實驗室周圍運行。這兩個系統都能夠在到樣品表面的受控距離內對THz場分布進行時域測量。Protemics專有的TeraSpeak近場微探針用于對通過平面樣品傳輸或從平面樣品反射的寬帶THz脈沖進行成像。
德國Protemics太赫茲近場掃描系統主要特點:
通過同步運動控制和實時位置檢測實現連續運動掃描的高速數據采集
結構化或彎曲樣品上恒定微探針/表面距離的自適應THz表面掃描的光學樣品形貌檢測
用于偏振相關測量的線性偏振和可旋轉THz發射器
高性能THz發射器/探測器組件加上高動態范圍鎖定檢測,可實現出色的信號質量
可選集成CCD相機模塊,用于監測微探針尖端和樣品位置
系統控制和測量自動化軟件,具有易于操作的圖形用戶界面,可輕松安裝在隨附的PC單元上
軟件實現的對齊監測功能和系統健康檢查電子設備
軟件輔助微探針尖端到樣品表面近似
用于快速光學對準的時域信號預覽模式
以純文本或Matlab兼容格式導出數據
激光和防塵系統外殼
開放式可擴展實驗室型系統平臺
德國Protemics太赫茲近場掃描系統技術參數:
?Type | TeraCube Scientific | TeraCube M2 |
頻譜寬度 | 0.05 – 3 THz | 0.05 – 4 THz |
?最大樣品尺寸 (x, y, z) | 20 cm, 20 cm, 1 cm | |
?最大掃描速度 (x, y) | up to 100 mm/s | |
?每個像素最少掃描時間 | 10 ms / Single TD position | 10 ms / Full TD Transient (5ps) |
?最大掃描范圍 (x, y, z) | 18 cm, 18 cm, 3 mm | |
?時域譜掃描范圍 | 1000 ps | 5 .. 200 ps |
?時域譜步進分辨率 (dt) | 6.6 fs | 50 fs |
?最小雙向重復性 (x, y, z) | +-0.1 μm,?+-0.1?μm, +-0.15 μm | |
?最小步進分辨率 (dx, dy, dz) | 0.1 μm, 0.1 μm, 0.15 μm |