標(biāo)準(zhǔn) HPPES 系統(tǒng)

• 滿足以下領(lǐng)域大多數(shù)研究需求的標(biāo)準(zhǔn)解決方案：
  – XPS / UPS / ARPES / AES / EELS / ISS / IPES / LEIPS?技術(shù) |UHV 條件
  –?HPXPS / APXPS / APUPS?技術(shù) |環(huán)境壓力條件
• 實(shí)驗(yàn)程序的完全自動(dòng)化
• 回填配置
• 高壓半球形能量分析儀 EA15-HP5 / EA15-HP50?及設(shè)備
• 高壓、高功率雙陽(yáng)極?X 射線源，帶單色器?– AlKα & AgLα，帶電源
• 高壓、高功率雙陽(yáng)極、非單色?X 射線源?– AlKα 和 MgKα，帶電源
• 帶電源的?UV 源
• 帶電源的泛洪源
• 用于深度剖析或清潔的離子源
• 電動(dòng)或手動(dòng)?4-6 軸機(jī)械手，帶有接收站，溫度LHe/LN 系列₂最高?1400°C
• 不同的樣品架尺寸：從 10×10 mm 到 2 英寸
• 分析室直徑 310 毫米
• 極限壓力降至 10^-9mbar，具體取決于泵的配置
• 泵送系統(tǒng)（基于備用泵，TMP和TSP帶有冷凍盾牌）
• 全自動(dòng)氣體加樣設(shè)置
• 帶設(shè)備的真空計(jì)
• 樣品架的?Load Lock 室
• 可靠、快速的線性傳輸系統(tǒng)，從負(fù)載鎖到分析室
• 視區(qū) – 觀察窗口，帶攝像機(jī)
• Bakeout 系統(tǒng)
• 系統(tǒng)的可調(diào)節(jié)剛性主機(jī)架
• 帶電子單元的 19 英寸機(jī)柜
• 由?Spectrium 軟件和?PLC 單元完全控制的分析過(guò)程和設(shè)備

描述

分析室配有 UHV 標(biāo)準(zhǔn)的連接法蘭，用于連接當(dāng)前和未來(lái)的設(shè)備，包括：

• 帶設(shè)備的高壓半球能量分析儀，
• 帶電源的高壓 X 射線雙陽(yáng)極單色源，
• 帶電源的高壓 X 射線雙陽(yáng)極非單色源，
• 帶電源的 UV 單色光源，
• 帶電源的紫外線源，
• 帶電源的泛洪源，
• 帶電源的電子源，
• 帶電源的離子源，用于深度剖析或清潔，
• 帶電源的氣簇離子源，
• 樣品調(diào)節(jié)器具有較寬的溫度范圍（從 LHe/LN₂高達(dá) 1400°C）、
• 泵組（基于備用泵、TMP、離子泵和TSP，具有大面積LN₂裹尸布）、
• 帶設(shè)備的真空計(jì)，
• 用于線性傳輸系統(tǒng)的入口，例如從負(fù)載鎖到分析室，
• 加載樣品架的 Lock 室，
• viewports – 觀察窗口，
• 殘余氣體分析儀。

最終的設(shè)計(jì)和功能取決于系統(tǒng)配置。

泵送系統(tǒng)是不同類型泵的組合，例如前級(jí)真空泵、離子泵、渦輪泵或具有大面積 LN 的鈦升華泵₂護(hù)罩，根據(jù)特定應(yīng)用需求單獨(dú)選擇，以實(shí)現(xiàn)最佳泵送性能。

如果需要，系統(tǒng)的模塊化設(shè)計(jì)允許通過(guò)徑向分布傳輸解決方案或傳輸隧道與任何其他研究平臺(tái)進(jìn)行組合和集成。

Spectrium 分析控制軟件允許半球形能量分析儀和各種類型的源集成和完美協(xié)作，從而實(shí)現(xiàn)輕松的配方編寫、自動(dòng)測(cè)量控制和廣泛的數(shù)據(jù)記錄。允許基于?Tango 開(kāi)源設(shè)備集成新的附加組件。

選項(xiàng)

• 帶機(jī)械手的?HP 壓力傳感器
• 全自動(dòng)混合室和 4 種氣體加樣設(shè)置
• 帶電源的?UV 單色光源
• 帶電源的電子源
• 帶電源的氣體簇離子源
• 儲(chǔ)藏室
• 徑向分布室或傳輸隧道
• 真空手提箱（運(yùn)輸箱），在負(fù)載鎖室中帶端口
• 殘余氣體分析儀
• 高溫計(jì)

技術(shù)

• 帶機(jī)械手的?HP 壓力傳感器
• 全自動(dòng)混合室和 4 種氣體加樣設(shè)置
• 帶電源的?UV 單色光源
• 帶電源的電子源
• 帶電源的氣體簇離子源
• 儲(chǔ)藏室
• 徑向分布室或傳輸隧道
• 真空手提箱（運(yùn)輸箱），在負(fù)載鎖室中帶端口
• 殘余氣體分析儀
• 高溫計(jì)