轉移隧道用于在 UHV 腔室之間以穩定且易于作的方式轉移樣品。

腔室由不銹鋼制成，包括用于泵、視窗、儀表和傳輸端口的法蘭，以連接其他腔室。保證極限壓力范圍 10^-11在 150 oC 下烘烤后 mbar