徑向分配系統(tǒng)
設(shè)計(jì)用于在與其相連的多個(gè)分析、沉積或制備室之間轉(zhuǎn)移樣品。
這些腔室通常安裝在一系列腔室的中心，作為集群工具的中央分配樞紐。RDC 腔室的運(yùn)輸和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)可將樣品可重復(fù)且準(zhǔn)確地轉(zhuǎn)移到其他腔室。徑向分配室機(jī)構(gòu)是線性齒輪齒條運(yùn)輸車的發(fā)展，其中單端齒輪齒條通過精密旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器精確旋轉(zhuǎn)，直到它在徑向端口的預(yù)設(shè)位置對(duì)齊。一旦鎖定到位，相同的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器就會(huì)通過端口將機(jī)架移出。
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 移動(dòng)法蘭 | DN 63CF – DN 160CF |
| 視口法蘭 | DN 160CF 系列 |
| 腔室直徑 | 550 – 1200 mm （可根據(jù)要求提供其他） |
| 最大傳輸長(zhǎng)度 Z | 395 – 904，取決于腔室直徑、傳輸臂和樣品架類型（可根據(jù)要求提供其他類型） |
| 位置控制 | 手動(dòng) / 半電動(dòng) （可選） / 電動(dòng) （可選） |
| 烘烤溫度 | 最高 150°C |
傳輸長(zhǎng)度
| 腔室直徑 D [mm] | 最大傳輸長(zhǎng)度Z [毫米] | |
| 用于?PTS?（1“） 樣品架 | 用于國(guó)旗幟式樣品架 | |
| 550 伸縮式 | 555 | 572 |
| 700 伸縮式 | 780 | 797 |
| 700 | 395 | 414 |
| 750 | 444 | 463 |
| 800 | 493 | 512 |
| 900 | 591 | 610 |
| 1000 | 689 | 708 |
| 1200 | 885 | 904 |
