用于樣品表面離子蝕刻的 UHV 系統，具有高度均勻性。推薦用于表征技術（例如 TEM）的樣品制備。

特征

• 全電動?2 軸機械手，帶快速作、自動快門和集成法拉第杯
• 機械手具有高效的水冷系統，可確保在此過程中保持所需的溫度穩定性
• 多種板式樣品架類型，最大尺寸為 6 英寸
• 適用于無網格/網格、RF/DC 離子源
• 用于控制和監控過程和所有組件的專用軟件和?HMI 設備
• 內部保護襯墊/防護罩
• 用于電子束蒸發器等的底部法蘭
• 設計易于擴展，帶有傳輸系統
• 前開門，便于進入工藝室