人機(jī)界面 （HMI） 設(shè)備是作員讀取和控制系統(tǒng)或裝置的主要參數(shù)的主要工具。HMI 顯示屏上顯示的參數(shù)和當(dāng)前狀態(tài)分組在單獨(dú)的屏幕上，對(duì)應(yīng)于 PLC 單元控制的功能。

作為標(biāo)準(zhǔn)配置，HMI 安裝在電子機(jī)架中，但也可以作為額外的大型觸摸屏安裝在旋轉(zhuǎn)臂上。為方便起見(jiàn)，HMI 設(shè)備可以與系統(tǒng)框架集成，例如就在工藝腔室旁邊

應(yīng)用

HMI設(shè)備可以讀取和控制例如：
▪真空度、
▪閘閥、
▪開(kāi)關(guān)箱、
▪打開(kāi)/關(guān)閉百葉窗、
▪機(jī)械手運(yùn)動(dòng)/定位、
▪樣品架轉(zhuǎn)移、
▪樣品架加熱和冷卻、
▪氣體計(jì)量、
▪安全聯(lián)鎖。