R2/R3 傾斜模塊（與 XY 平臺(tái)組合）
提供相對(duì)于 ± 3° 范圍內(nèi)的正交方向（X 或 Y 軸）之一的短傾角。
建議與 XY 載物臺(tái)集成（通過(guò)通用波紋管）以獲得最佳運(yùn)動(dòng)范圍。模塊的幾何形狀是定制的，以保持圍繞焦點(diǎn)的旋轉(zhuǎn)半徑和其他客戶要求。R2/R3 旋轉(zhuǎn)可以是電動(dòng)的或手動(dòng)的。
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 基座法蘭 | DN 160CF 系列 |
| 移動(dòng)法蘭 | DN 100CF、DN 63CF |
| R3 范圍 | ± 3° |
| R3 運(yùn)動(dòng)控制 | 手輪 / 步進(jìn)電機(jī) （可選） |
| 分辨率（手動(dòng)/電動(dòng)） | 0.1° / 0.01° |
| 烘烤溫度 | 最高 150 °C |
應(yīng)用
R2/R3 傾斜模塊的設(shè)計(jì)得益于大旋轉(zhuǎn)半徑，可實(shí)現(xiàn)最佳角度分辨率。
此外，剛性設(shè)計(jì)允許將重負(fù)載連接到末端執(zhí)行器。這種解決方案的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是真空側(cè)沒(méi)有機(jī)械部件。可以通過(guò)更改所選模塊的排列（R2 傾斜、R3 傾斜、R1 旋轉(zhuǎn)、XY 載物臺(tái)、Z 滑塊）來(lái)擴(kuò)展功能。
