波蘭PREVAC,科學產品,組件,機械手,模塊 , 線性位移

線性位移

UHV 傳輸機構由一對法蘭制成,由邊緣焊接波紋管連接。

自由法蘭以受控、精確的運動向固定法蘭移動,同時保持平行度。它的動作類似于 Z 滑塊縱器,但行程長度和整體定位分辨率略有減少。標準安裝法蘭為 DN 40CF 或 DN 63CF。該換檔由手輪驅動,可以在任何方向工作。

線性位移專為儀器的線性運動而設計,運動中的傾斜或擺動最小,在抽空前后保持精確對準

技術數據

基座法蘭DN 40CF 或 DN 63CF
移動法蘭公稱通徑 40CF
Z 范圍150 mm 的 25、50、75、100
波紋管 ID38.5 毫米
位置控制手輪 / 機動 (可選)
分辨率1 毫米
重復性1 毫米
傾斜范圍(用于帶傾斜的 LS)± 4°
烘烤溫度最高 150 °C

長度

壓縮長度 [mm]
延伸長度 [mm]
Z 范圍 [mm]標準高穩定性帶傾斜
公稱型號 40/40CF公稱型號 DN 63/40CFDN 40/40CF
雙導向波紋管
公稱型號 40/40CFDN 63/40 CF公稱型號 40/40CF公稱型號 DN 63/40CF
2545
70
47,5
72,5


47,5
72,5


5051
101
55
105


60.7
110.7


7553
128
60
135

54.3
129.3

65
140

10065
165
69
169

65
165
69
169 元
66
166
55
157
150

80
230




應用

線性移位用于不需要其他線性運動設備更高精度和漸變運動的應用。它們通常用于:

  • 表面科學工具相對于樣品位置的作,
  • 蒸發和濺射源的縱,
  • 電子X 射線源的縱,
  • 縱石英振蕩器,
  • 樣品轉移應用程序。

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