1-4 軸 MBE 機械手
1-4 軸電動 MBE 機械手專為超高真空條件下的 MBE 應(yīng)用而設(shè)計。加熱通過電阻或 EB 方法進行。縱器可以在垂直方向上工作。
它是一款采用模塊化結(jié)構(gòu)的高精度、高剛性 UHV 試樣機械手，適用于一系列 R1 電動連續(xù)基板旋轉(zhuǎn)和 Z 軸平移
描述
準備將基板加熱至 1400°C（EB 加熱，UHV 條件），精度為 +/- 1°C。 該工作站包括基板（標配最大 6 英寸樣品架）定位器，允許基板相對于線性快門的精確角度位置。
▪ 樣品架： 一般為 板型
▪ 為達到高溫
▪而準備 基準壓力： 10-11毫巴
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 標準底座法蘭 | DN 100CF 至 DN 300CF（取決于樣品量，其他可根據(jù)要求提供） |
| 極限壓力范圍 | 10-11毫巴 |
| 快門 | 集成或外部、氣動或手動 |
| 加熱方法 | 電阻式， EB |
| 基板溫度 | 最高 1200 °C （電阻） 最高 1400 °C （EB） |
| 冷卻方式 | 在2、 H20 |
| Z 范圍 | 50 mm?（可根據(jù)要求提供其他） |
| 位置控制 | 手輪/電動* |
| 分辨率（手動/電動） | 500 μm / 標準 10 μm |
| R1 范圍 | 360° 連續(xù) |
| 位置控制 | 機動* |
| XY 范圍（可選） | ± 12.5 毫米 |
| 位置控制 | 千分尺/電動* |
| 分辨率（手動/電動） | 5 微米 / 1 微米 |
| 最大速度 | 高達 60 rpm |
| 烘烤溫度 | 最高 150 °C / 200 °C（根據(jù)要求） |
* 步進電機或伺服電機 – 取決于應(yīng)用。
機械手可以根據(jù)要求為客戶的電機或驅(qū)動器準備。
加熱器材料
| 石墨 | 柔韌（形式穩(wěn)定），高溫下釋氣最小，500°C 以下抗氧化 |
| 石墨 + PBN 涂層 | 柔韌（形式穩(wěn)定），高溫下釋氣最小，800°C 以下抗氧化（取決于氧分壓） |
| 石墨 + SiC 涂層 | 堅硬、輕便、形態(tài)穩(wěn)定，1400°C 以下抗氧化 |
| 碳化硅固體 （β） | 極硬、輕便且形式穩(wěn)定、熱膨脹低、耐機械和電沖擊、優(yōu)異的反應(yīng)氣體/抗氧化性 |
選項
▪ H2O 型護罩
▪ LN2或 H2O 冷卻
▪側(cè)或集成楔形快門（可能帶 H2O 冷卻選項）
▪ XY 運動舞臺
▪快門開/關(guān)
