1-4 軸濺射機(jī)械手
1-4 軸電動濺射機(jī)械手設(shè)計用于 HV 和 UHV 條件下的濺射沉積應(yīng)用，以及反應(yīng)濺射。加熱采用電阻法進(jìn)行。縱器可以在垂直方向上工作。
它是一款模塊化結(jié)構(gòu)的高剛性 UHV 試樣機(jī)械手，具有電動連續(xù)基板 R1 旋轉(zhuǎn)和 Z 軸平移（另外可配備 XY 移動模塊）
描述
準(zhǔn)備將基板加熱到 1000°C，精度為 +/- 1°C。 該工作站包括基板（標(biāo)配最大 6 英寸樣品架）定位器，允許基板相對于線性快門的精確角度位置。
加熱器材料根據(jù)客戶的要求和沉積過程的具體條件（例如加熱溫度、反應(yīng)氣體的存在）進(jìn)行最佳調(diào)整。示例加熱器：熱同軸電纜、涂有 SiC 的石墨、SiC 固體 （β）。
▪ 樣品架：板式，PTS
▪ 基本壓力：10-10mbar （工作壓力： ~10-2mbar )
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 標(biāo)準(zhǔn)底座法蘭 | DN 100CF、DN 160CF、DN 200CF 或 DN 250CF |
| 極限壓力范圍 | 10-10毫巴 |
| 快門 | 集成或外部、氣動或手動 |
| 加熱方法 | 加熱方式 電阻式、直接式 |
| 基板溫度 | 最高 1000 °C |
| 冷卻方式 | H20 |
| Z 范圍 | 50 mm?（可根據(jù)要求提供其他） |
| 位置控制 | 手輪/電動* |
| 分辨率（手動/電動） | 500 μm / 標(biāo)準(zhǔn) 10 μm（可根據(jù)要求提供 1 μm） |
| R1 范圍 | 360° 連續(xù) |
| 位置控制 | 機(jī)動* |
| XY 范圍（可選） | ± 12.5 毫米 |
| 位置控制 | 千分尺/電動* |
| 分辨率（手動/電動） | 5 微米 / 1 微米 |
| 最大速度 | 高達(dá) 60 rpm（可根據(jù)要求提供其他） |
| 烘烤溫度 | 最高 150 °C |
* 步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī) – 取決于應(yīng)用。
機(jī)械手可以根據(jù)要求為客戶的電機(jī)或驅(qū)動器準(zhǔn)備。
選項
▪ H2O 冷卻罩
▪側(cè)面或集成楔形快門
▪ XY 運動平臺
▪ BIAS， DC， RF
