4-5 軸 LN2機器人
4-5* 軸 LN2具有 X、Y、Z、R1 和 R2 軸的機械手是一種模塊化結構的高精度、高剛性、UHV 樣品機械手，可以使用液氮冷卻和加熱。
模塊化結構意味著可以通過添加或更換定義明確的模塊來升級或修改規范。機械手的所有軸都由步進電機或伺服電機驅動。X、Y 和 Z 軸也可以根據需要手動作。標準安裝法蘭為 DN 100CF 或 DN 160CF。4-5 軸機械手是 XY 平臺、Z 滑塊和旋轉平臺的組合。
* 可根據要求提供用于 PTS 樣品架的 6 軸機械手。
技術數據
| 標準底座法蘭 | DN 100CF 或 DN 160CF |
| 壓力范圍 | 減少到 10 個-11毫巴 |
| 加熱方法 | 電阻式， EB， 直接 |
| 冷卻方式 | 在2 |
| XY 范圍 | ± 12.5 毫米 |
| 位置控制 | 千分尺/電動* |
| 分辨率（手動/電動） | 5 微米 / 1 微米 |
| Z 范圍 | 75 – 800 mm?（可根據要求提供） |
| 位置控制 | 手輪/電動* |
| 分辨率（手動/電動） | 50 μm / 標準 10 μm（可根據要求提供 1 μm） |
| R1 范圍 | ± 180° |
| 位置控制 | 旋轉饋入裝置/電動* |
| 分辨率（手動/電動） | 1°/0.1° |
| R2 范圍 | 360° 連續 / ±90° |
| 位置控制 | 機動 |
| 分辨率（電動） | 0.1° |
| 烘烤溫度 | 最高 150 °C |
* 步進電機或伺服電機 – 取決于應用。
機械手可以根據要求為客戶的電機或驅動器做好準備。
選項
- 全機動化
- 完全軟件控制
- 溫度穩定
- 加熱選項：直接加熱、電阻加熱或 EB 加熱
- 適用于反應氣體的加熱器（電阻加熱）
其他信息
多軸機械手配置有一個樣品接收站，可以接受 PTS 系列樣品架之一。該工作站配有 6 個電觸點（2 個 K、C 或 E 型熱電偶;2 個高達 1000 V 的樣品偏壓，2 個高達 20 A 的加熱電流）和用于液氮冷卻的藍寶石球冷卻觸點。
機械手包括所有必要的電氣、氣體和機械饋入裝置，以及用于 XY、Z、R1 和 R2 軸的步進電機和步進電機驅動器。
