波蘭PREVAC,科學(xué)產(chǎn)品,沉積儀器,石英天平 QO 40A1

石英天平 QO 40A1

石英天平 QO 40A1 可在沉積過(guò)程中實(shí)時(shí)、漸進(jìn)地指示涂層厚度，從而在涂層生產(chǎn)中實(shí)現(xiàn)高精度和可重復(fù)性。

描述

可以監(jiān)測(cè)蒸發(fā)和濺射鍍膜的厚度。傳感器頭是一個(gè)水冷式非磁性外殼，永久位于真空系統(tǒng)中。晶面與水冷饋通管平行。石英天平 QO 40A1 安裝在 DN 40CF 法蘭上，帶有兩根 ?6 管和 Microdot S-50 同軸連接器。定制插入長(zhǎng)度 130 – 500 mm（可根據(jù)要求提供其他插入長(zhǎng)度）。

技術(shù)數(shù)據(jù)

安裝法蘭DN 40CF （可旋轉(zhuǎn)）
最高工作溫度最高 300°C（水冷）
水冷 （必需）水流量 > 0.5 升/分鐘
溫度：20 – 30 °C
最大壓力：6 巴
晶體頻率4.8 – 6 MHz，直徑 14 mm（行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）
插入長(zhǎng)度取決于腔室的規(guī)格和幾何形狀
烘烤溫度最高 150 °C

特征

  • 水碰撞傳感器頭
  • 易于更換的石英

選項(xiàng)

  • 定制插入長(zhǎng)度
  • 帶或不帶內(nèi)置手動(dòng)/電動(dòng)氣動(dòng)快門不同的安裝法蘭（例如 DN 40 KF）
  • 可根據(jù)要求提供其他石英天平幾何形狀（例如垂直頭部幾何形狀）
  • 線性偏移

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