半球形能量分析儀 EA15-HP5
EA15-HP5 可在高達 5 mbar 的靜態和動態環境中進行高分辨率 PES 測量。
描述
該分析儀總共配備了 11 個狹縫，并提供了在最佳能量分辨率和最佳強度之間進行選擇的可能性。根據給定的光電子能量，分析儀最多可設置 8 個預定義的 PE，以滿足客戶的要求。
EA15 半球形能量分析儀可以直接由?LabVIEW?編程環境控制。
注意：
建議將 mu-metal 分析真空室或內部 mu-metal 屏蔽室與 PREVAC EA15-HP1 半球形能量分析儀結合使用，以最大限度地減少外部磁場的影響并最大限度地提高分析儀的性能。
套餐包括：
▪ EA15-HP5 150 mm 半球形能量分析儀，
▪?RUDI-EA2?高穩定和低噪聲電子設備，
▪用于 Windows作系統計算機系統的?SPECTRIUM?采集和分析儀控制軟件，
▪計算機套裝。
技術數據
| 安裝法蘭 | 公稱直徑 100 CF |
| 烘烤溫度 | 最高 120 °C |
| 工作距離 | 1-2 mm （取決于錐體開口） |
| 分析器平均半徑 | 150 毫米 |
| 傳遞能源 XPS XPS/UPS?&?XPS/UPS/ARPES* | 20、50、100、200 eV |
| 能量分辨率 XPS XPS/UPS?&?XPS/UPS/ARPES* | < 20 meV FWHM |
| 動能范圍 | 0.5 – 3000 伏 |
| 采集模式 | 固定， 掃描 |
| 透射和角度鏡頭模式： ▫鏡頭接受角（透射模式） | +/- 15° |
| IRIS 光圈 | 從 1 mm 到 32 mm |
| 完全由非磁性材料設計 | |
探測器
? MCP-CCD 探測器
– 直徑 40 mm 的雙 MCP 探測器
– 656 個能量通道同時可用
– 494 個角度通道同時可用
– 90 fps
? 7-MCD 探測器（用于 UHV）
? Detektor DLD（用于 UHV）
– 固定模式下的最大能量窗口：~17% 的通過能量
– 直徑為 56 mm 的探測器，帶 7 個通道加速器
– 施加電壓：2.5-3.5 kV
選項
用于 EA15-HP5 的泵送系統?3 級泵送系統，配有所有必要的泵、壓力測量系統和附件，使分析儀能夠在要求的壓力范圍內工作（從 UHV 到 5 mbar）。
系統包括：
- 分析儀泵送系統第 1 級（鏡頭）
- HiPace 300 渦輪分子泵（N 型泵的抽速為 260 l/s）2)
- VAT 閘閥 DN 100CF – 用于 TMP 泵的 el-pneumatic
- nXDS6i Edwards 前級真空干泵（標稱抽速 6 m3/h）
- 管材和布線，
- 自動安全閥和排氣閥，
- 分析儀泵送系統的第二級（透鏡）
- HiPace 300 渦輪分子泵（N 型泵的抽速為 260 l/s）2)
- VAT 閘閥 DN 100CF – 用于 TMP 泵的 el-pneumatic
- 自動安全閥和排氣閥，
- 分析儀泵送系統的第 3 級（半球）
- HiPace 300 渦輪分子泵（N 型泵的抽速為 260 l/s）2） 帶 reducer
- VAT 閘閥 DN 63CF – 用于 TMP 泵的 el-pneumatic
- nXDS6i Edwards 前級真空干泵（標稱抽速 6 m3/h）
- 管材和布線，
- 自動安全閥和排氣閥，
- 真空計
- 3 個皮拉尼真空計 TTR91N，用于前級真空，
- 3x PTR90N – 寬量程表
- 用于控制泵送系統（前級真空泵、UHV 泵、閥門和真空計）的電子微處理器裝置。該裝置包括多個聯鎖裝置，用于在停電或組件發生故障時保護真空系統。
- 分析室和分析儀之間的旁路：管道和安全閥
