緊湊、易于使用的提取器型離子源，具有束聚焦功能。它主要用于樣品表面清潔，但聚焦功能提供了更多可能性。例如：它允許以相同的樣本距離覆蓋不同的樣本區域，或者即使在無法使源更靠近樣本的情況下也可以使用源。該源產生的離子電流大于200μA/cm2（氬氣），具有高斯光束輪廓。離子槍的插入長度可根據個人要求進行調整（143毫米-386毫米之間，其他可根據要求提供）。

特性：

光束聚焦功能——在30 mm-150 mm之間的所有樣品距離處，光束可能集中到3 mm
較大距離處的遠光燈強度（由于聚焦功能）
使用惰性氣體（Ar）和反應性氣體（O2、H2、壽命縮短的碳氫化合物）進行操作
高離子束電流
壽命長
高穩定性

選項

氣體進樣系統
定制插入長度
線性移位

技術參數