人機界面 （HMI） 設備是作員讀取和控制系統或裝置的主要參數的主要工具。HMI 顯示屏上顯示的參數和當前狀態分組在單獨的屏幕上，對應于 PLC 單元控制的功能。

作為標準配置，HMI 安裝在電子機架中，但也可以作為額外的大型觸摸屏安裝在旋轉臂上。為方便起見，HMI 設備可以與系統框架集成，例如就在工藝腔室旁邊

應用

HMI設備可以讀取和控制例如：
▪真空度、
▪閘閥、
▪開關箱、
▪打開/關閉百葉窗、
▪機械手運動/定位、
▪樣品架轉移、
▪樣品架加熱和冷卻、
▪氣體計量、
▪安全聯鎖。