光束通量監測器
它通常安裝在線性移位/z 平臺上，以允許燈絲放置在靠近基材的位置，并在處于待機位置時包括一個保護罩。
讀數和完全控制（設備狀態、Z 軸偏移）由專用軟件應用程序和 Ion Multi Gauge 控制器提供。應用程序可以與?Synthesium?集成 – 高級沉積軟件工具。
技術數據
| 安裝法蘭 | DN 63CF （不可旋轉） |
| 測量系統 | Bayard-Alpert 離子真空計 |
| 測量范圍 | 10-3至 2×10-11托 |
| 線性行程 | 150 mm （可根據要求提供） |
| 最大外徑 | 63 毫米 |
| 燈絲 | 雙絲，釔涂層銥 |
| 控制器 | 3 通道 MG15 – 通信接口：RS232/485、以太網、PROFINET（選項 – 訂購時指定） |
| 烘烤溫度 | 最高 200 °C |
特征
- BEP 測量
- 離子電流測量 [nA 單位]
選項
- 機動化
- 定制插入長度
