移動式泵站 MPS
? Pfeiffer HiPace80 渦輪分子泵,用于 N 的抽速為 67 l/s2
? EDWARDS 真空 nXDS6i 渦旋泵前級真空泵(N 級抽速 15.1 m3/h2)
? 真空配件
? 安全閥和排氣閥均為電磁式
? VAT 閘閥 DN 63CF 電動氣動 – 用于渦輪分子泵
? 用于泵、閥門和壓力表控制的 PCU-16 單元
? 萊寶皮拉尼真空計 TTR91N DN 16 KF (5×10-4mbar – ATM) 帶電纜
? Leybold PENINGVAC 真空計 PTR DN 40 CF (5×10)-9mbar – ATM) 帶電纜
? 手推車 – 帶輪子的可移動平臺,便于移動工作站
選項
? 殘余氣體分析儀
? 帶軟件的筆記本