接收、重定向樣品架并將其從一個傳輸機構(gòu)轉(zhuǎn)移到另一個傳輸機構(gòu)。

重新定位室通常通過分配室泵組進行泵送（如果需要，也可以獨立泵送）。該腔室配備了幾個大型視口。重新定位腔室允許輕松擴展各種數(shù)量的腔室的 UHV 系統(tǒng)。