波蘭PREVAC,科學(xué)產(chǎn)品,轉(zhuǎn)運系統(tǒng),轉(zhuǎn)運隧道

傳輸隧道

轉(zhuǎn)移隧道用于在 UHV 腔室之間以穩(wěn)定且易于作的方式轉(zhuǎn)移樣品。

腔室由不銹鋼制成,包括用于泵、視窗、儀表和傳輸端口的法蘭,以連接其他腔室。保證極限壓力范圍 10-11在 150 oC 下烘烤后 mbar


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