板式基板支架
專(zhuān)用于不同沉積技術(shù)的樣品架(基板、板、晶片、鉬塊),例如 MBE、磁控濺射、熱蒸發(fā)等。
描述
專(zhuān)用于不同沉積技術(shù)的樣品架(晶片、鉬塊),例如 MBE、磁控濺射、熱蒸發(fā)等。標(biāo)準(zhǔn)尺寸為 2 英寸、3 英寸、4 英寸(可根據(jù)要求提供 6 英寸、8 英寸或更大)。該樣品架可針對(duì)單個(gè)和多個(gè)其他類(lèi)型的樣品架進(jìn)行配置,例如旗形板。標(biāo)準(zhǔn)材料為鉬或鈦,可根據(jù)要求提供其他材料。