Z 滑塊
具有 Z 運(yùn)動(dòng)的精確 UHV 試樣平移器。
可以根據(jù)附件的類(lèi)型選擇移動(dòng)法蘭。該轉(zhuǎn)換器適用于垂直或水平安裝。Z 滑塊大多與 XY 載物臺(tái)一起使用。將 Z 滑塊與 XY 載物臺(tái)組合后，我們得到具有三個(gè)自由度的 XYZ 載物臺(tái)。Z 滑塊也可以根據(jù)需要安裝步進(jìn)電機(jī)。
Z 滑軌的設(shè)計(jì)易于使用和方便。這些轉(zhuǎn)換器提供的線性行程比線性偏移更大。
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 標(biāo)準(zhǔn)底座法蘭 | DN 40CF、DN 63CF 或 DN 100CF |
| 標(biāo)準(zhǔn)行走法蘭 | DN 40CF、DN 63CF 或 DN 100CF |
| Z 范圍 | 75 – 800 mm （標(biāo)準(zhǔn)，可根據(jù)要求提供其他） |
| Z 軸運(yùn)動(dòng)控制 | 手輪 / 步進(jìn)電機(jī) （可選） |
| 分辨率（手動(dòng)/電動(dòng)） | 500 μm / 標(biāo)準(zhǔn) 10 μm（可根據(jù)要求提供 1 μm） |
| 烘烤溫度 | 最高 150 °C |
長(zhǎng)度
| Z 范圍 [mm] | 波紋管 ID39 | 波紋管 ID65 | 波紋管 ID102 | ||
| 公稱(chēng)型號(hào) 40/40CF | DN63/40CF DN100/40CF 系列 | DN63/63CF 型 | DN100/63CF 型 | DN100/100CF 型 | |
| 75 | 142 / 217 | 148.5 / 223.5 | 211 / 286 | ||
| 100 | 142 / 242 | 148.5 / 248.5 | 211 / 311 | ||
| 150 | 142 / 292 | 148.5 / 298.5 | 211 / 361 | ||
| 200 | 142 / 342 | 148.5 / 348.5 | 211 / 411 | ||
| 250 | 142 / 392 | 148.5 / 398.5 | 211 / 461 | ||
| 300 | 142 / 442 | 148.5 / 448.5 | 211 / 511 | ||
| 350 | 207 / 557 | 213.5 / 563.5 | 211 / 561 | ||
| 400 | 207 / 607 | 213.5 / 613.5 | 211 / 611 | ||
| 450 | 207 / 657 | 213.5 / 663.5 | 211 / 661 | ||
| 500 | 207 / 707 | 213.5 / 713.5 | 211 / 711 | ||
| 600 | 272 / 872 | 278.5 / 878.5 | 276 / 876 | ||
| 700 | 272 / 972 | 278.5 / 978.5 | 276 / 976 | ||
| 800 | 272 / 1072 | 278.5 / 1078.5 | 276 / 1076 | ||
