XY 載物臺
精密、高剛性的 UHV 試樣平移器，具有 X 和 Y 運(yùn)動。
標(biāo)準(zhǔn)安裝法蘭為 DN 160CF。還提供 DN 100CF 安裝法蘭版本。載物臺可以在任何方向工作。XY 載物臺的設(shè)計(jì)易于使用和方便。X 和 Y 機(jī)芯的厚度± 25.0 毫米，具體取決于安裝的附件。它們還可用于重新定位腔室端口，其軸平行于所需方向，但略微偏離所需方向。在最后一種用途中，它有時(shí)被稱為 XY 調(diào)節(jié)器，是其他設(shè)備的非常經(jīng)濟(jì)的替代品。
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 基座法蘭 | DN 100CF 或 DN 160CF |
| 移動法蘭 | DN 63CF 或 DN 100CF |
| 最大自由直徑 | 102 毫米 |
| X、Y 范圍 | ± 12.5 毫米或± 25 毫米 |
| 位置控制 | 千分尺 / 步進(jìn)電機(jī)（可選） |
| 分辨率（手動/電動） | 5 微米 / 1 微米 |
| 烘烤溫度 | 最高 150 °C |
最大 XY 范圍
| 基座法蘭 | 移動法蘭 | 直徑 B [毫米] | X，Y 范圍 [mm] 實(shí)際行程 （圓） | X，Y 范圍 [mm] 實(shí)際行程（平方） |
| 公稱通徑 100CF | DN 63CF 系列 | 直徑 38 | ± 25 | ± 17.5 |
| 公稱通徑 100CF | 公稱通徑 100CF | 直徑 62 | ± 12.5 | ± 9 |
| DN 160CF 系列 | DN 63CF 系列 | 直徑 38 | ± 25 | ± 17.5 |
| DN 160CF 系列 | 公稱通徑 100CF | 直徑 75 | ± 25 | ± 17.5 |
XY 載物臺 DN 160/100CF 系列（示例）
| （?A-?B）/2 = 實(shí)際筆觸（圓） | 直徑 B [毫米] | ||
| 直徑 50 | 直徑 80 | 直徑 100 | |
| DN 160/100CF XY ± 12.5 mm 安裝法蘭孔徑 ?A=125 mm | ± 12.5 | ± 12.5 | ± 12.5 |
| DN 160/100CF XY ± 25.0 mm 安裝法蘭孔徑 ?A=125 mm | ± 25 | ± 22.5 | ± 12.5 |
| DN 160/100CF XY ± 25.0 mm 安裝法蘭孔徑 ?A=152 mm | ± 25 | ± 25 | ± 25 |
