R2/R3 傾斜模塊（與 XY 平臺組合）
提供相對于 ± 3° 范圍內的正交方向（X 或 Y 軸）之一的短傾角。
建議與 XY 載物臺集成（通過通用波紋管）以獲得最佳運動范圍。模塊的幾何形狀是定制的，以保持圍繞焦點的旋轉半徑和其他客戶要求。R2/R3 旋轉可以是電動的或手動的。
技術數據
| 基座法蘭 | DN 160CF 系列 |
| 移動法蘭 | DN 100CF、DN 63CF |
| R3 范圍 | ± 3° |
| R3 運動控制 | 手輪 / 步進電機 （可選） |
| 分辨率（手動/電動） | 0.1° / 0.01° |
| 烘烤溫度 | 最高 150 °C |
應用
R2/R3 傾斜模塊的設計得益于大旋轉半徑，可實現最佳角度分辨率。
此外，剛性設計允許將重負載連接到末端執行器。這種解決方案的另一個優點是真空側沒有機械部件。可以通過更改所選模塊的排列（R2 傾斜、R3 傾斜、R1 旋轉、XY 載物臺、Z 滑塊）來擴展功能。
