波蘭PREVAC,科學產品,組件,機械手,模塊 , 差動泵浦旋轉饋入件

差動泵浦旋轉饋入件

通過 UHV 系統的真空壁提供 360° 連續旋轉自由度

饋入件具有兩級差動泵送,由特殊密封表面上的石墨浸漬膨脹氟橡膠密封件隔離。預加載的滾珠軸承組可精確控制旋轉平臺位置。饋入裝置配有蝸桿傳動裝置,可提供精細的角度調整。它們可配備消隙步進電機。
提供不同的電機或電機控制系統(步進電機、伺服電機、IcePAP)。

技術數據

基座法蘭型號 DN 40CF, DN 63CF, DN 100CF, DN 160CF
R1 旋轉控制手輪 / 步進電機 (可選)
分辨率(手動/電動/外部光學編碼器)1° / 0.1° / 0.05°
烘烤溫度最高 150 °C

法蘭
之間的直徑和距離

基座法蘭內徑 [mm]距離 L [mm]
公稱通徑 40CF4135.2
DN 63CF 系列6648
公稱通徑 100CF10347
DN160CF153.144

應用

差動泵浦旋轉饋入裝置可以與機械手和任何其他精密定位設備結合使用。


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