4-6 軸 LHe 機械手（閉式循環）
帶氦低溫恒溫器的機械手是一種多功能的閉式循環系統，適用于許多 UHV 表面科學研究。
它可以配置Z滑塊、XY平臺或差動泵浦旋轉饋入裝置。模塊化結構意味著可以通過添加或更換定義明確的模塊來升級或修改規格。該系統通常包括壓縮機、高壓軟管、膨脹器、溫度控制器、加熱器和傳感器。
技術數據
| 標準底座法蘭 | DN 100CF 或 DN 160CF |
| 壓力范圍 | 1 bar 至 10-11毫巴 |
| 加熱方法 | 電阻式， EB， 直接 |
| 冷卻方式 | LHe |
| XY 范圍 | ± 12.5 毫米* |
| 位置控制 | 千分尺/電動** |
| 分辨率（手動/電動） | 5 微米 / 1 微米 |
| Z 范圍 | 最大 300 毫米 |
| 位置控制 | 手輪/電動** |
| 分辨率（手動/電動） | 50 μm / 標準 10 μm（可根據要求提供 1 μm） |
| R1 范圍 | ± 180° |
| 位置控制 | 旋轉饋入裝置/電動** |
| 分辨率（電動） | 0.1° |
| R2 范圍 | 360° 連續 |
| 位置控制 | 機動** |
| 分辨率（電動） | 0.1° |
| R3 范圍 | – 20° 至 +40° |
| 位置控制 | 旋轉饋入裝置/電動** |
| 分辨率（電動） | 0.1° |
| 烘烤溫度 | 最高 150 °C |
* 用于底座法蘭 DN 160CF
** 步進電機或伺服電機 – 取決于應用。
機械手可以根據要求為客戶的電機或驅動器做好準備。
選項
- 全機動化
- 完全軟件控制
- 氦氣回收系統
- 可以安裝角度設備進行 PES 校準
- 用于硅樣品直接加熱的附加電觸點
- 低振動低溫恒溫器
- 溫度穩定
- 加熱選項：直接加熱、電阻加熱或 EB 加熱
加熱/冷卻
樣品溫度取決于樣品架類型：
- EB 加熱 –?最高 1000 °C（第二階段），
- 用?10 A?直接加熱，
- 電阻加熱（根據要求），
- 液氦冷卻：
–?低于 10 K*（5 軸機械手）
* 在沒有穩定和加熱選項的情況下實現的參數
