4-6 軸 LHe 機械手（開式循環）
光譜 UHV 機械手具有加熱和 LHe 冷卻（開式循環）的可能性。
它是一款高精度、高剛性的 UHV 試樣機械手，采用模塊化結構，適用于一系列 X、Y、Z 線性運動和 R1、R2、R3 旋轉。模塊化結構意味著可以通過添加或更換定義明確的模塊來升級或修改規范。
技術數據
| 標準底座法蘭 | DN 100CF 或 DN 160CF |
| 壓力范圍 | 減少到 10 個-11毫巴 |
| 加熱方法 | 電阻式， EB， 直接 |
| 冷卻方式 | LHe |
| XY 范圍 | ± 9 mm – 用于 DN 100CF ±?12.5 mm – 用于 DN 160CF 底座法蘭 |
| 位置控制 | 千分尺/電動* |
| 分辨率（手動/電動） | 5 微米 / 1 微米 |
| Z 范圍 | 最大 600 毫米 |
| 位置控制 | 手輪/電動* |
| 分辨率（手動/電動） | 1 mm / 標準 10 μm（可根據要求提供 1 μm） |
| R1 范圍 | ± 180° 或 ± 360° |
| 位置控制 | 旋轉饋入裝置/電動* |
| 分辨率（電動） | 0.1° |
| R2 范圍 | 360° 連續 |
| 位置控制 | 機動* |
| 分辨率（電動） | 0.1° |
| R3 范圍 | – 20° 至 +40° |
| 位置控制 | 旋轉饋入裝置/電動* |
| 分辨率（電動） | 0.1° |
| 烘烤溫度 | 最高 150 °C |
* 步進電機或伺服電機 – 取決于應用。
機械手可以根據要求為客戶的電機或驅動器做好準備。
選項
- 全機動化
- 完全軟件控制
- 氦氣回收系統
- 可以安裝角度設備進行 PES 校準
- 溫度穩定
- 加熱選項：直接加熱、電阻加熱或 EB 加熱
加熱/冷卻
樣品溫度取決于樣品架類型：
- 用?10 A?直接加熱，
- 電阻加熱至 1100 °C，
- EB 加熱至 1400°，
- 液氦冷卻：
– 4 軸機械手 –?低至 4 K*
– 5 軸機械手 –?低至 4.8 K* /?10 K**
– 6 軸機械手 –?低至 7 K* /?15 K**
* 無加熱選項和溫度穩定時達到的參數
** 有加熱選項時達到的參數
