4-5 軸 LN2旗形樣品架
帶 LN 的機械手2旗形樣品架的冷卻功能在樣品架數量、各種加熱方法和許多有用的選項方面為工作站開發提供了多種可能性。這與各種不同的旗架類型相結合，使該機械手站非常通用。
模塊化結構意味著可以通過添加或更換定義明確的模塊來升級或修改規范。機械手的所有軸都由步進電機或伺服電機驅動。X、Y 和 Z 軸也可以根據需要手動作。標準安裝法蘭為 DN 100CF 或 DN 160CF。4-5* 軸機械手是 XY 平臺、Z 滑塊和旋轉平臺的組合。
* 可根據要求提供用于 PTS 樣品架的 6 軸機械手。
技術數據
| 標準底座法蘭 | DN 100CF 或 DN 160CF |
| 壓力范圍 | 減少到 10 個-11毫巴 |
| 加熱方法 | 電阻式， EB， 直接 |
| 冷卻方式 | 在2 |
| XY 范圍 | ± 12.5 毫米 |
| 位置控制 | 千分尺/電動* |
| 分辨率（手動/電動） | 5 微米 / 1 微米 |
| Z 范圍 | 75 – 800 mm?（可根據要求提供） |
| 位置控制 | 手輪/電動* |
| 分辨率（手動/電動） | 500 μm / 標準 10 μm（可根據要求提供 1 μm） |
| R1 范圍 | ± 175° |
| 位置控制 | 旋轉饋入裝置/電動* |
| 分辨率（電動） | 0.1° |
| R2 范圍 | 360° 連續 / ±90° |
| 位置控制 | 機動 |
| 分辨率（電動） | 0.1° |
| 烘烤溫度 | 最高 150 °C |
* 步進電機或伺服電機 – 取決于應用。
機械手可以根據要求為客戶的電機或驅動器準備。
選項
- 全機動化
- 完全軟件控制
- 溫度穩定
- 加熱選項：直接加熱、電阻加熱或 EB 加熱
- 適用于反應氣體的加熱器（電阻加熱）
